جلوگیری از پدیده شرپنل: حفظ تمیزی ویفرها در صورت خرابی هیترهای مادون قرمز
در کارخانههای تولید نیمههادی با ظرفیت بالا، خرابی لامپهای مادون قرمز مشکلی فقط مربوط به تعمیرات نیست؛ بلکه یک فاجعه واقعی است.
اگر یکی از لولههای کوارتزی خراب شود، سطح ویفرها با تکههای کوچک شیشه و قطعات فلزی پوشانده خواهد شد؛ در نتیجه، محصولات تولید شده بیارزش خواهند بود. ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی برای جلوگیری از این پدیده کردهایم.
سیستم ایمنی
ما فقط به لولههای کوارتزی برای حفظ ساختار لامپ اعتماد نمیکنیم؛ بلکه لامپ را در یک پوشش اضافی قرار میدهیم. میتوان آن را مانند یک سپر کوارتزی با خلوص بالا در نظر گرفت.
اگر عنصر داخلی لامپ تحت فشار خراب شود، این پوشش تمام ذرات ناشی از خرابی را جذب میکند؛ در نتیجه، فضای داخل لامپ تمیز باقی میماند و نیازی نیست سه روز برای تمیز کردن لامپ وقت صرف کنیم.
مقابله با گرما
لامپهایی با توان بالا، گرمای بسیار زیادی تولید میکنند؛ اگر فشار بر روی شیشه لامپ بیش از حد باشد، لامپ خراب خواهد شد. برای جلوگیری از این مشکل، از کوارتز با دیواره ضخیم استفاده میکنیم؛ این ماده میتواند در برابر چرخههای سریع گرما مقاومت کند.
همچنین، به اتصالات الکتریکی نیز توجه زیادی میکنیم؛ چرا؟ چون اتصالات ضعیف باعث ایجاد نقاط گرم میشوند؛ این نقاط گرم منجر به خرابی لامپ میشوند. این یک جزئیات کوچک است، اما تفاوت بین لامپی که میتواند عمل کند و لامپی که خراب میشود، همین است.
توازن بین ایمنی و کارایی
البته، استفاده از این پوشش ایمنی، مقدار کمی از نور مادون قرمز را مسدود میکند؛ در نتیجه، انرژی مستقیمی که به لامپ میرسد کمتر خواهد بود. شاید لازم باشد زمان رسیدن به دمای مورد نظر را تغییر دهید یا توان لامپ را افزایش دهید؛ اما راستش، این قیمت کوچکی است که باید برای جلوگیری از اتلاف کل محصولات تولید شده پرداخت شود.
حفظ عملکرد لامپ
در زمان نصب، از اتصالات استاندارد استفاده میکنیم تا همه چیز محکم بماند؛ لامپهای شل در هنگام کار با بار بالا، لرزش دارند و این لرزش باعث خرابی لامپ میشود. یک توصیه دیگر این است که هنگام تعویض لامپ، به فنهای خنککننده نیز توجه کنید؛ اگر جریان هوا کافی نباشد، انتهای لامپها داغ خواهد شد و خراب خواهد شد. حفظ جریان هوا، باعث میشود کوارتز لامپ مدت زمان بیشتری عمل کند.