جلوگیری از آلودگی ویفرها، قبل از شروع فرآیند تولید
در دنیای فرآوری نیمههادیها، خراب شدن چراغها مشکل سادهای نیست؛ بلکه یک فاجعه است.
تصور کنید که یک لوله کوارتز در وسط فرآیند تولید، منفجر شود؛ در این صورت تکههای شیشه و رشتههای تنگستن مستقیماً روی ویفرها میافتند. یک اتفاق بد، میتواند باعث شود کل محموله تولید شده بیارزش شود.
دقیقاً به همین دلیل است که ما ساختار چراغهای IR را به این شکل طراحی میکنیم؛ تا در صورت بروز مشکل، آلودگیها در جای خود باقی بمانند.
راز، در بازتابندههاست
ما از بازتابندههای آلومینیومی با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ اما کار این بازتابندهها فقط بازتاب دادن گرما نیست. میتوانید این بازتابندهها را مانند یک سپر ایمنی در نظر بگیرید.
ما حدود دقیقی برای قرارگیری چراغ در جای خود تعیین میکنیم؛ اگر لوله خراب شود، این بازتابندهها تکههای شیشه را در خود نگه میدارند. این کار مانند یک تله عمل میکند و از رسیدن تکههای شیشه به داخل محفظه تولید جلوگیری میکند؛ در نتیجه شما مجبور نخواهید بود سه روز بعد، شیشههای موجود در تجهیزاتتان را تمیز کنید.
مدیریت گرما
فعالیت در حداکثر سرعت، چراغها را تحت فشار زیادی قرار میدهد؛ برای جلوگیری از شکستن چراغها، ما به چند نکته مهم توجه میکنیم:
اولاً، ما فاصلههای کوچکی در نقاط نصب چراغها ایجاد میکنیم؛ کوارتز در هنگام گرم شدن، انبساط پیدا میکند؛ اگر فضای کافی برای حرکت نداشته باشد، شکسته خواهد شد.
دوماً، سطح بازتابندهها را با روش آنودایزاسیون محافظت میکنیم؛ اگر سطح بازتابندهها خراب شود، بازتابندگی آنها کاهش مییابد و کارایی چراغها نیز کاهش مییابد.
شکل بازتابندهها نیز مهم است؛ این بازتابندهها، تشعشعات IR را دقیقاً در جهت مورد نیاز هدایت میکنند؛ همچنین به عنوان دستگاهی برای جمعآوری ذرات آلوده نیز عمل میکنند.
یک مشکل: انباشت گرما
یکی از معایب این طراحی، انباشت گرما در داخل محفظه است؛ برای جلوگیری از این مشکل، باید از فنهای خنککننده یا سیستمهای خنککننده مایعی استفاده کرد. اگر محفظه بیش از حد گرم شود، ممکن است سیمها و کانکتورها آسیب ببینند. این یک تعادل لازم است.
ما این چراغها را برای مهندسانی طراحی میکنیم که نمیتوانند یک محموله تولید شده را از دست بدهند؛ مهم نیست که مشخصات فنی چقدر عالی باشد؛ مهم این است که بتوانیم مشکلات ناشی از خرابیها را مدیریت کنیم، تا بتوانیم شبها را با آرامش بگذرانیم.