روی سطح سنگی، نمیتوانید اجازه دهید که دما تغییر کند. حتی نیم درجه تغییر در دما، میتواند باعث اختلال در پروفایل فوتورزیست شود؛ در نتیجه، برای کنترل دما باید تلاش زیادی کنید. اگر اجازه دهید دما تغییر کند، ممکن است لکههایی روی سطح ایجاد شود، یا حتی چسبندگی مواد کاهش یابد؛ این مشکلات را نمیتوان به راحتی برطرف کرد. آنچه لازم است، گرمایی است که به سرعت اعمال شود، دقیقاً در جای مورد نظر قرار گیرد و در هر چرخه، در همان محل باقی بماند.
چه چیزهایی مهم هستند؟
ما لامپ IR مورد استفاده برای خشک کردن فوتورزیست را با استفاده از امواج کوتاه NIR طراحی کردهایم؛ تا فوتورزیست به سرعت گرم شود. در منطقه گرمایش، یکنواختی دما در سطح ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد نگه داشته میشود؛ همچنین، تکرارپذیری عملیات نیز در محدوده مشخصی باقی میماند. این سیستم در اتاقهای تمیز کلاس ۱-۱۰۰ کار میکند، بدون ایجاد ذرات جدید؛ همچنین، طراحی آن به گونهای است که با مشخصات حرارتی ابزارهای نیمههادی موجود سازگار باشد. ما مقدار تولید گرما، زمان لازم برای گرم شدن و پایداری دما را مشخص میکنیم؛ زیرا مرحله گرمایش باید یک عملیات قابل پیشبینی باشد، نه یک متغیر نامشخص.
چرا این سیستم در تولید موفق عمل میکند؟
میتوانید نتایج کار را اندازهگیری کنید؛ چرا که گرمایش نرم و سخت، در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر میرسد؛ در نتیجه، تغییرات دما بین محمولههای مختلف کاهش مییابد و فرآیند تولید پایدارتر میشود. کنترل دقیق دما، باعث کاهش لکهها، بهبود چسبندگی مواد و کاهش کارهای تکراری میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا لامپ، گرما را فقط در زمان لازم تولید میکند. این سیستم برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است؛ دادههای مربوط به عملکرد آن نشان میدهد که میتواند برای مدت طولانی بدون مشکل کار کند.
چه چیزهایی را باید در نظر گرفت؟
نصب این سیستم، به معنای سازگار کردن رابطهای الکتریکی و مکانیکی آن با ابزار مورد استفاده است؛ همچنین، باید مقادیر حرارتی مورد نیاز را بر اساس خواص شیمیایی فوتورزیست و ساختار سطحی ماده مورد استفاده تنظیم کرد. لامپ، زمانی بهترین عملکرد را دارد که اتاق گرمایش به خوبی بسته شده باشد؛ هرگونه اختلال در جریان هوا، منجر به عدم یکنواختی در دما خواهد شد. باید یک آزمایش اولیه انجام داد تا پروفایل دما مشخص شود؛ پس از آن، فرآیند تولید با یکنواختی لازم انجام خواهد شد.