دیگر با مشکل «دیوارههای گرم» مبارزه نکنید!
اگر تا به حال در زمینه گرمایش تجهیزات نیمههادی کار کرده باشید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. مشکل واقعی این نیست که چگونه ویفر را به دمای مناسب برسانیم؛ آن بخش آسان است. مشکل واقعی این است که چگونه از گرم شدن سایر قسمتهای دستگاه جلوگیری کنیم.
گرمکنهای معمولی، باعث ایجاد هرج و مرج میشوند؛ آنها گرما را در همه جا پخش میکنند. در نتیجه، دیوارههای داخلی دستگاه گرم میشوند، اپراتورها در معرض خطر سوختگی قرار میگیرند، و تجهیزات الکترونیکی حساس نیز به دلیل گرمای بیش از حد، دچار مشکل میشوند. این وضعیت واقعاً آشفتهکننده است.
نحوه رفع این مشکل:
ما از لامپهای مادونقرمز کوتاهموج استفاده میکنیم. میتوانید آن را مانند یک چراغ قوه در نظر بگیرید، اما این لامپها گرما تولید میکنند. به جای گرم کردن کل هوای موجود در محفظه، این لامپها انرژی را مستقیماً به سمت هدف ارسال میکنند.
با استفاده از بازتابندهها و شکلهای مختلف لامپها، میتوانیم این انرژی را در یک پرتو متمرکز درآوریم. این پرتو به سمت قطعه کار برخورد کرده و از آنجا متوقف میشود. از آنجایی که دیوارههای محفظه در مسیر پرتو قرار ندارند، آنها سرد باقی میمانند. خیلی ساده است.
تنظیم دمای مناسب:
وقتی که در یک اتاق تمیز کار میکنید، سرعت بسیار مهم است. لامپهای مادونقرمز کوتاهموج عالی هستند؛ زیرا نفوذپذیری بیشتری دارند و سریعتر واکنش نشان میدهند. میتوانید دمای دستگاه را در عرض چند ثانیه افزایش دهید.
اما باید مراقب باشید؛ زیرا لامپهای مادونقرمز با تراکم بالا، انرژی زیادی را در فضای کوچکی تولید میکنند. اگر ماده مورد نظر دارای جرم حرارتی کمی باشد، به راحتی میتواند دمای مورد نظر را از بین ببرد. بنابراین، نیاز به یک سیستم PID قوی و ترموکپلهای سریععمل برای کنترل دما وجود دارد.
جنبههای عملی:
بهترین نکته این است که میتوانید از آن پوششهای ضخیم عایقبندیشده استفاده نکنید؛ زیرا این پوششها فضای زیادی را اشغال میکنند. این کار باعث میشود که بدنه دستگاه قابل لمس باشد و حجم کلی دستگاه کاهش یابد.
نگهداری از این دستگاه نیز بسیار آسان است؛ وقتی که لامپ خراب میشود، کافی است آن را خارج کرده و یک لامپ جدید جایگزین کنید. فقط مطمئن شوید که اتصالات دستگاه محکم باشند؛ زیرا هیچ کس نمیخواهد در یک سیستم با ولتاژ بالا، مشکلاتی پیش بیاید.