خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS بدون آسیب رساندن به آنها
خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS کاری دشوار است؛ باید آب را به سرعت از روی آنها برداریم، اما اگر روش خشک کردن بیش از حد افراطی باشد، میتواند باعث آسیب به ساختارهای ظریف این ویفرها شود.
برای رسیدن به نتیجه مطلوب، از گرمایشکنندههای مادون قرمز همراه با بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. هدف کاملاً ساده است: جلوگیری از هدررفت انرژی و اطمینان از اینکه هر فوتونی به درستی به روی ویفر برخورد کند.
چرا طلا؟
اکثر مردم از بازتابندههای آلومینیومی استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که آلومینیوم مقدار زیادی انرژی مادون قرمز را جذب میکند. ما از طلا با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا طلا در بازتاب نور مادون قرمز بسیار کارای است.
اما موضوع فقط بازتاب نور نیست؛ با ترکیب لایه طلا با منحنیهای پارابولیک، میتوانیم حرارت را به درستی هدایت کنیم. در نتیجه، پرتوی انرژی متمرکزی به روی ویفر برخورد میکند؛ بنابراین نیازی نیست ولتاژ لامپها را بالا ببریم. این روش هوشمندانهتر است، نه دشوارتر.
تعادل بین انرژی و حرارت
هنگام تنظیم این دستگاهها، موضوع اصلی، تعادل بین سرعت و ایمنی است.
البته، لامپهای با توان بالا برای کار در خطوط تولیدی با حجم بالا عالی هستند؛ اما آنها مقدار زیادی حرارت تولید میکنند. اگر سیستم خنککننده دستگاه مناسب نباشد، این حرارت باقی میماند. در نتیجه، دمای ویفر افزایش مییابد و خطر آسیب به ویفر وجود دارد. این مشکلی است که واقعاً نمیخواهیم داشته باشیم.
حفظ عملکرد دستگاهها
ما این دستگاهها را طوری طراحی کردهایم که بتوان آنها را به سرعت تعویض کرد. هیچ کس نمیخواهد خط تولید چند ساعت متوقف بماند.
بازتابندهها به خوبی با محور لامپ هماهنگ شدهاند؛ بنابراین هیچ نقطه سردی روی ویفر ایجاد نمیشود. البته، باید مراقب باشید؛ زیرا طلا حساس است. اگر در محیط تولید گازهای خورنده زیادی وجود داشته باشد، این لایهها آسیب خواهند دید.
شما باید یا از محافظهای مناسب برای آنها استفاده کنید، یا مراقب آنها باشید. همچنین، هنگام تمیز کردن، مراقب باشید؛ از مواد مناسب برای تمیز کردن استفاده کنید. یک بار تمیز کردن نادرست با پارچه خشن میتواند سطح ویفر را خراشیده کند؛ و وقتی که این تمرکز انرژی از بین برود، کارایی دستگاه نیز کاهش خواهد یافت.