حفظ ایمنی در هنگام گرم کردن ویفرها در محلولهای شیمیایی
باید صادق باشیم: گرم کردن ویفرها در حالی که در محلولهای فرار و قابل اشتعال هستند، کاری بسیار خطرناک است. یک جرقه کوچک یا خرابی در عنصر گرمایشی، میتواند منجر به انفجار شود.
به همین دلیل، ما در بستهبندی لامپهای گرمایشی IR، هیچ ریسکی را در نظر نمیگیریم.
نحوه بستهبندی لامپها
ما فقط لامپ را محافظت نمیکنیم؛ بلکه از روشهای بستهبندی ایمن استفاده میکنیم تا ارتباط الکتریکی لامپ با هوای اطراف آن کاملاً قطع شود.
ما پوشش کوارتزی لامپ را مستقیماً به یک فلنج مقاوم در برابر مواد شیمیایی متصل میکنیم. چرا؟ چون بخارات خورنده میتوانند وارد بدنه لامپ شوند و سیمهای الکتریکی آن را از بین ببرند یا باعث ایجاد خطا در سیستم الکتریکی شوند.
همچنین، از مواد ویژهای برای محافظت در برابر رطوبت و گازها استفاده میکنیم. اگر با محلولهای شیمیایی خطرناک کار میکنید، این روش بستهبندی تنها راه محافظت از لامپ در برابر خرابی است.
تنظیم دقیق دما
دقت در تنظیم دما بسیار مهم است. اگر دما به درستی تنظیم نشود، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد.
لامپهای ما از تشعشعات موج کوتاه استفاده میکنند؛ این روش، راهی هوشمندانه برای اطمینان از این است که گرما فقط به سطح ویفر برسد و باقی محلول شیمیایی تحت تأثیر قرار نگیرد.
همچنین، ما توان لامپ را نیز با دقت تنظیم میکنیم. نمیخواهیم که نقاط داغی وجود داشته باشد که باعث اختلال در فرآیندهای شیمیایی شوند. توجه داشته باشید که تشعشعات IR با تراکم بالا، باعث گرم شدن بدنه لامپ میشود؛ بنابراین باید از فنهای خنککننده مناسب استفاده کنید تا بدنه لامپ در دمایی پایینتر از نقطه اشتعال مواد شیمیایی باقی بماند.
قابلیت اطمینان در شرایط واقعی
این لامپها برای جایگزینی لامپهای گرمایشی معمولی طراحی شدهاند.
نکته خوب این است که چون ایمنی این لامپها به طور مستقیم در بدنه فیزیکی آنها در نظر گرفته شده، نیازی به استفاده از محفظههای بزرگ و سنگین برای محافظت در برابر انفجار نیست. این کار باعث کاهش حجم لامپها و تسریع در تعمیرات آنها میشود.
ما شاهد بودهایم که این لامپها در محیطهای اسیدی نیز کار میکنند و همواره توان یکنواختی را ارائه میدهند.