دیگر نیازی به گرم کردن ماشینآلات شما با روشهای معمولی نیست؛ روش بهتری برای گرم کردن ویفرها وجود دارد. مشکل در فرآیند تولید نیمههادی این است که باید ویفر را گرم کرد، اما نمیخواهیم سایر قطعات گرانقیمت ماشینآلات نیز ذوب شوند. بیشتر گرمکنهای معمولی، گرما را در همه جهات پخش میکنند؛ این کار باعث میشود گرمای اضافی وارد دیوارههای محفظه شود و دستگاه را به حد خطرناکی گرم کند؛ علاوه بر این، این گرما باعث تغییر شکل قطعات حساس داخل ماشینآلات میشود. این روش مناسبی نیست. راهکار برای گرمایش جهتدار ما از لامپهای مادون قرمز برای این منظور استفاده میکنیم. این لامپها، به جای پخش گرما در همه جهات، انرژی را مستقیماً به سمت ویفر هدایت میکنند. ما از بازتابندههای ویژه و پوششهای خاصی بر روی لامپها استفاده میکنیم تا انرژی فقط به سمت ویفر خطاب شود. این کار مانع از ورود گرما به بدنه ماشینآلات میشود. یافتن فاصله مناسب نمیتوانیم لامپ مادون قرمز را مستقیماً در کنار ویفر قرار دهیم؛ در غیر این صورت، نقاط گرم خاصی ایجاد خواهد شد، یا در بدترین حالت، سطح ویفر ذوب خواهد شد. مهم است که فاصله مناسبی بین لامپ و ویفر وجود داشته باشد. اگر لامپ خیلی نزدیک باشد، گرما یکنواخت نخواهد بود؛ اگر خیلی دور باشد، انرژی صرف گرم کردن هوای اطراف ویفر خواهد شد. ما معمولاً زمان زیادی را صرف تعدیل سرعت افزایش دما و یکنواختی گرما میکنیم. همچنین، اگر میخواهید سرعت گرم شدن ویفر را افزایش دهید، باید فاصله بین لامپ و ویفر را بیشتر کنید یا سیستم خنککننده دیوارههای محفظه را تقویت کنید. معایب این روش هیچ چیز رایگان نیست؛ اگرچه گرمایش جهتدار باعث حفاظت از دیوارههای ماشینآلات میشود، اما فشار زیادی بر روی فیلامنت داخلی لامپ وارد میشود. به دلیل تمرکز انرژی، لامپ خود نیز بسیار گرم میشود. باید مراقب کابلها نیز باشید؛ مطمئن شوید که کنکتورها بتوانند جریان الکتریکی لازم را تحمل کنند؛ در غیر این صورت، کنکتورها ذوب خواهند شد. همچنین، حتماً به فنهای خنککننده توجه کنید؛ اگر فنها از کار بیفتند، گرمای تمرکزشده میتواند در کمتر از زمانی که شما میتوانید واکنش نشان دهید، لامپ را از بین ببرد.