حفظ تمیزی اتاقکهای کلاس ۱۰۰ وقتی که مواد را درون محفظه خلأ در محیط کلاس ۱۰۰ گرم میکنید، نمیتوانید حتی کوچکترین اشتباهی انجام دهید. حتی کمی گرد و غبار یا گاز شیمیایی میتواند باعث شود کل محموله ویفرهای شما بیکار شود. بیشتر عناصر گرمایشی استاندارد، برای این کار مناسب نیستند؛ زیرا مواد موجود در آنها میتوانند ناخالصیها را به سطح مواد منتقل کنند. به همین دلیل، ما از لامپهای اینفراردهای سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم. مقابله با مشکل «مه» در محیط خلأ، ناخالصیها تمایل دارند به سطح مواد منتقل شوند و تبخیر شوند. اگر کوارتز استفاده شده از کیفیت بالایی نباشد، روی سطح مواد لایهای مهآلود ایجاد خواهد شد. ما از سیلیکا فیوزد شده با محتوای بالای هیدروکسیل (OH) استفاده میکنیم. این موضوع شاید پیچیده به نظر برسد، اما در واقع به این معناست که لامپ حتی در شرایط دمایی بالا نیز تخریب نمیشود و ناخالصیای تولید نمیکند؛ بنابراین سطح مواد همچنان تمیز باقی میماند. مقابله با گرما محیطهای خلأ پیچیده هستند؛ زیرا هیچ هوایی برای انتقال گرما وجود ندارد. همه چیز از طریق تابش انجام میشود. ما این لامپها را طوری تنظیم کردهایم که امواج اینفراردهای کوتاه را منتشر کنند؛ این امر باعث میشود گرما به عمق مواد نفوذ کند، بنابراین نیازی نیست منتظر گرم شدن مواد باشید. این روش سریع است. اما مشکلی نیز وجود دارد؛ زیرا لامپ نمیتواند گرما را به هوا منتقل کند، بنابراین انتهای لامپ بسیار داغ میشود. اگر سیستم خنککننده لامپ به درستی کار نکند، ممکن است مشکلاتی مانند نشت مایعات ایجاد شود. قطعاً باید قبل از روشن کردن لامپ، این موارد را بررسی کنید. جزئیات کوچک ما بر کیفیت ساخت لامپها تأکید زیادی داریم؛ از پلاستیکهای ارزان استفاده نمیکنیم، همچنین از چسبهایی نیز استفاده نمیکنیم. سیمهای لامپ را با فلزات با خلوص بالا جوش میدهیم تا هیچ باقیماندهای از چسبها باقی نماند. حتی اتصالات لامپ نیز باید دقیق باشد؛ ما مطمئن میشویم که هیچ فاصلهای بین اجزای لامپ وجود نداشته باشد، زیرا لرزش نیز میتواند باعث ایجاد ذرات ناخواسته شود. شما میتوانید چگالی گرمایی مورد نیاز خود را داشته باشید تا تولید به راه خود ادامه دهد، بدون اینکه نگران کاهش بازدهی تولید باشید. فقط به یاد داشته باشید: هرچه توان لامپ بیشتر باشد، سیستم خنککننده باید سختتر کار کند تا بقیه اتاقک از گرم شدن در امان بماند.