در خط تولید، حتی انحراف نیم درجهای در دمای فرآیند پخت، میتواند باعث اختلال در کنترل ابعاد مهم واترها شود و در نتیجه آنها را به زباله تبدیل کند. در فرآیندهای لیتوگرافی و فتورزیست، پایداری حرارتی چیزی نیست که بتوان آن را نادیده گرفت؛ بلکه خودش بخشی از فرآیند است. ما سیستم گرمایشی را طوری طراحی کردهایم که بتواند در شرایط کاری ۷×۲۴ ساعته کار کند؛ یعنی هر بار که فرآیند پخت انجام میشود، دما باید به یک شکل ثابت باقی بماند، بدون هیچ استثنایی.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارند؟
در سراسر سطح واتر، ما دما را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد کنترل میکنیم؛ تا از اتلاف انرژی در گرههای پیشرفته جلوگیری شود. استفاده از موجهای مادون قرمز کوتاه، باعث کنترل دقیق دما میشود؛ همچنین، منطقه گرمایشی طوری طراحی شده که هیچ ذرهای تولید نشود؛ بنابراین این سیستم سازگار با اتاقهای پاکسازی از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ است. تکرارپذیری نیز به خوبی کنترل میشود؛ دما در هر بار تکرار، در محدوده ۰.۱٪ تغییر میکند، که این امر باعث میشود انحرافات ابعادی کنترل شوند.
چرا این روش در تولید مؤثر است؟
در عملیات روزمره، این دقت منجر به کاهش تعداد محصولات ناموفق، تولید پایدار و زمانبندی قابل پیشبینی برای فرآیندها میشود. فرآیندهای پخت نرم و سخت، در عرض چند ثانیه به هدف مورد نظر میرسند؛ همچنین، انحرافات دما نیز به حداقل میرسد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا سیستم فقط در زمان لازم گرم میشود و بدون اتلاف انرژی، دما را در حالت ثابت نگه میدارد.
قابلیت اطمینان چگونه نشان داده میشود؟
قابلیت اطمینان این سیستم، از طریق زمان کار بدون وقفه نشان داده میشود؛ این دستگاهها به طور مداوم کار میکنند و هیچ وقفه غیرمنتظرهای ندارند. همچنین، عمر مفید این دستگاهها نیز طولانی است؛ بنابراین نیاز به تعویض قطعات یدکی و تعمیرات کمتری وجود دارد.
جزئیات عملی:
این سیستم نیاز به یک مدار تغذیه جداگانه و فیلترشده دارد؛ همچنین، برای حفظ دمای مناسب، نیاز به سیستم خنککننده با کیفیت بالا است. یکپارچهسازی این سیستم در اکثر دستگاههای تولید واتر، آسان است؛ اما مساحت منطقه گرمایشی باید با محاسبات هندسی مربوط به اتاق تولید هماهنگ باشد؛ تنها در این صورت میتوان دمای یکنواختی را داشت.
نکته مهم:
باید از همان ابتدا، رابطهای لازم برای اتصال این سیستم را طراحی کرد؛ سپس میتوان آن را راهاندازی کرد و هر بار به همان شکل از آن استفاده کرد.