通过安全设计防止高功率红外固化灯中的晶圆污染

杜绝晶圆制造过程中灯管爆裂的噩梦 如果你曾在高负荷的晶圆厂工作过，就会知道灯管爆裂简直就是一场噩梦。问题不仅在于设备停摆的时间，更在于后续的清理工作。想象一下，玻璃碎片和卤素气体直接溅到晶圆上，那样一来，整批晶圆就都报废了。正因如此，我们格外注重红外固化灯的设计，确保这种事情不会发生。 为什么灯管...