超高纯度加热灯

别再等待烤箱升温了：为什么UHP红外灯更有效 长期以来，我们一直认为加热晶圆需要依靠热空气对流来实现。但问题在于，对流速度很慢。你得先等待空气变热，然后再让这些热空气把晶圆加热到所需温度。这无疑会浪费大量时间。 因此，我们转而使用超高纯度（UHP）红外灯。这样一来，就无需依赖空气对流，可以直接传递...