如何让100级洁净室始终保持清洁状态？ 在100级洁净环境中对真空腔内的物品进行加热时，哪怕出现一点点错误都是不可容忍的。哪怕有那么一丁点的灰尘或化学气体存在，整批芯片都会报废。 大多数普通的加热元件根本不适合这种环境使用。它们可能会释放出杂质或发生氧化反应，从而导致污染物附着在工件上。因此，我们...

在洁净室中减少碳排放：为何真空红外加热法如此有效 说实话，半导体制造过程非常耗能。为了防止材料氧化或受到污染，必须要在真空环境中进行操作，而这无疑给温度控制带来了巨大挑战。 大多数人采用电阻式加热方式。但问题在于，为了将晶圆加热到所需温度，不得不对整个腔体进行加热。这就好比为了加热一片披萨而把家里...