标签为“盾牌”的页面如下 用于光刻机的石英玻璃防护罩 为什么我们如此重视石英屏蔽罩的绝缘性能测试 大多数人只把制造设备中的石英玻璃屏蔽罩视为一种隔热材料而已。但实际上,这些屏蔽罩才是防止高压电流从加热元件直接流入设备机壳的关键所在。 如果屏蔽罩表面有哪怕微小的裂纹或污渍,那问题就大了。一旦发生接地故障,整个生产线就会停止运转;更糟糕的是,控制板可能会... Read more...
用于光刻机的石英玻璃防护罩 为什么我们如此重视石英屏蔽罩的绝缘性能测试 大多数人只把制造设备中的石英玻璃屏蔽罩视为一种隔热材料而已。但实际上,这些屏蔽罩才是防止高压电流从加热元件直接流入设备机壳的关键所在。 如果屏蔽罩表面有哪怕微小的裂纹或污渍,那问题就大了。一旦发生接地故障,整个生产线就会停止运转;更糟糕的是,控制板可能会... Read more...