TEL 东京电子 加热灯

在光刻车间的实际情况 您知道这个过程是怎样的。如果软烘烤的温度偏离即使是很小的一个度数，也会导致线宽变化——这意味着良品率的下降。您需要的热量必须严格符合工艺卡规格，每次运行都要精确无误。TEL加热灯旨在提供这种一致性。 底层原理的重要性 我们围绕短波红外线设计了灯，内部使用了卤素元件，外包裹在石...