洁净室烤箱红外加热器

防止碎片飞溅：在红外加热器出现故障时保护晶圆不受损 在大规模半导体生产厂中，红外灯的爆炸绝非简单的“维护问题”，而是一场真正的灾难。一旦石英管破裂，晶圆表面就会布满细小的玻璃碎片和金属颗粒。这样一来，整批晶圆就报废了。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况发生。 安全保障措施 我们不会只依赖石英管...