红外灯用铝制反射器
在半导体加工行业中，一旦灯泡损坏，那可不只是让人头疼或导致短暂停机的问题——那简直就是一场噩梦。想象一下，当灯泡在高负荷运转时突然爆裂，玻璃碎片和钨丝就会掉落在晶圆上。这样一来，整批晶圆都变得无法使用。
正因如此，我们才会以特殊的方式设计红外灯组件。我们的目标是确保即便出现故障，碎片也不会飞溅出来...
生物传感器制造用红外灯
正确控制生物传感器的温度 在制造生物传感器时，温度控制至关重要。如果在固化或沉积过程中温度出现哪怕几度的偏差，整批产品都会报废。这既令人沮丧，又会带来巨大的经济损失。 因此，我们选择使用高密度红外线系统。与其等待对流式烤箱慢慢加热空气——这一过程耗时过长且温度控制也不准确——不如直接利用红外线进行...
生物传感器制造用红外灯
将热量精准地传递到需要的地方 在芯片上制造生物传感器时，需要将热量精确地传递到芯片表面。不过，传统的红外灯存在一个问题：它们效率很低。大部分能量都会被反射或散射掉，最终只是让机器的壳体变热而已。
我们找到了更好的解决方案——在灯的外壳上涂上高反射率的金涂层。
为什么选择金呢？
这其实与光线的特性有...
洁净室工作台红外灯
利用红外线技术保持洁净室的清洁状态
在半导体制造厂中，“清洁”并非仅仅是一个目标，而是至关重要的要求。任何灰尘或污染物都可能破坏工作成果。因此，我们选择使用红外线灯来达到这一目的。
其原理在于：红外线灯依靠电磁辐射来实现加热效果，无需使用强制热风或风扇来搅动空气中的颗粒物。这样，晶圆就能保持完好无...
晶圆固化灯用反射器
让我们来聊聊您的晶圆固化装置吧。
其实，有一个很多人忽视的秘密：灯具本身只是解决问题的一半而已。就算您使用的是世界上最昂贵的红外灯，但如果反射器设计不当，那这些能量就白白浪费掉了。大部分热量会泄漏到机器的机壳中，这既浪费了能源，还会给冷却系统带来负担。如果您想要打造一个高效、智能的制造工厂，那就必...
用于半导体的镀金红外灯
如何防止镀金型红外灯失效（从而保护您的晶圆） 在半导体制造工厂中，热量是不可或缺的——而且这种热量必须能够被精确地控制。这时，我们的镀金型短波红外灯就派上用场了。我们会在灯管表面涂上一层薄薄的黄金，这样就能让尽可能多的热能直接传递到晶圆上，而不是让热量散失到整个腔室中。
为什么选择黄金？ 这并非因...
双管镀金灯管
别再依赖普通空气冷却了：为什么镀金红外灯才是最佳选择 如果你们仍然依赖普通空气来对半导体进行深度加工，那么你肯定已经注意到了其中存在的瓶颈。空气其实并不擅长传递热量。因此，你们往往要花费大量时间来等待空气把基片加热到所需温度。这真是令人沮丧。
这就是为什么我们采用双管镀金灯的原因。这样的设计相当于...
无臭氧红外灯
为何我们如此重视无臭氧红外灯的绝缘性能测试 如果你在洁净室工作或从事食品包装行业，那你肯定已经知道为什么无臭氧红外灯是最佳选择。因为这类灯具能滤除185纳米波长的光，从而避免工作环境中出现臭氧气体。
不过，问题在于：虽然大家都在谈论光谱的问题，但真正决定灯具性能的关键因素其实是其电气结构。具体来说...
用于光刻机的石英玻璃防护罩
为什么我们如此重视石英屏蔽罩的绝缘性能测试 大多数人只把制造设备中的石英玻璃屏蔽罩视为一种隔热材料而已。但实际上，这些屏蔽罩才是防止高压电流从加热元件直接流入设备机壳的关键所在。
如果屏蔽罩表面有哪怕微小的裂纹或污渍，那问题就大了。一旦发生接地故障，整个生产线就会停止运转；更糟糕的是，控制板可能会...
用于冲洗的防水红外灯
为何在半导体干燥过程中放弃热风，转而使用红外线技术？
如果你曾在芯片制造厂工作过，那一定知道冲洗后的干燥过程有多麻烦。长期以来，我们一直依赖热风循环来干燥芯片。但说实话，这种方法的效率实在很低——因为热量需要通过空气来传递，这个过程非常缓慢，还会浪费大量时间。
正因如此，我们转而使用红外线技术。红...
Mattson RTP灯管更换
简介 我们创造这款Mattson RTP替换灯的目的，并非只是再制造一盏普通的灯而已。我们希望它能够与那些知名品牌的产品相媲美。说实话，关键在于其内部所使用的材料。我们采用了与那些知名品牌相同的顶级石英材质以及高纯度钨丝。这样一来，无论在何种高温环境下，这盏灯都能正常工作。
技术细节 在RTP技术...
Fab灯的替换灯丝
在光刻车间中，光阻烘烤环节决定了整个光刻流程中的温度控制参数。如果光源性能下降，那么软烘烤和硬烘烤时的温度就会出现偏差，这种情况几分钟之内就能被察觉——此时会出现CD偏移现象，进而导致产品良率下降。我们设计的替代灯丝能够保持稳定的温度曲线，从而确保每次加工时的温度都处于可控范围内。
真正重要的是在...
光刻胶固化红外灯
在光刻过程中，绝对不能有温度波动。哪怕只有半度的温度偏差，都会影响到光刻胶的固化效果，进而导致难以控制CD的精度。如果让加热过程出现波动，就容易产生边缘不平整、杂质等问题，甚至会导致光刻胶无法正常附着在基底上，而这些问题往往在发现时已经来不及补救了。因此，需要的是那种能够快速加热、精确控制温度且能...
TEL 东京电子 加热灯
在光刻车间的实际情况 您知道这个过程是怎样的。如果软烘烤的温度偏离即使是很小的一个度数，也会导致线宽变化——这意味着良品率的下降。您需要的热量必须严格符合工艺卡规格，每次运行都要精确无误。TEL加热灯旨在提供这种一致性。
底层原理的重要性 我们围绕短波红外线设计了灯，内部使用了卤素元件，外包裹在石...
最佳光刻胶红外灯
在光刻车间，光刻胶烘烤不仅是一个热处理步骤，更是一个尺寸控制步骤。软烘烤温度漂移1°C，会直接反映在关键尺寸控制和侧壁轮廓上。基于这一实际需求，我们设计了专用的红外灯用于光刻胶，目标是在晶圆层面实现±0.1°C的热均匀性，并确保整个批次的烘烤曲线稳定可重复。
技术要点
我们采用短波红外和快速响应发...