Fab灯的替换灯丝

在光刻车间中，光阻烘烤环节决定了整个光刻流程中的温度控制参数。如果光源性能下降，那么软烘烤和硬烘烤时的温度就会出现偏差，这种情况几分钟之内就能被察觉——此时会出现CD偏移现象，进而导致产品良率下降。我们设计的替代灯丝能够保持稳定的温度曲线，从而确保每次加工时的温度都处于可控范围内。 真正重要的是在...