半导体溅射加热器

在制造过程中，温度波动不仅仅是数值上的偏差，更是导致产品良率下降的罪魁祸首。如果溅射腔体的温度出现哪怕微小的偏差，都会导致薄膜应力增加以及厚度不均匀，进而影响光刻和蚀刻工序的质量。我们设计的红外加热器能够消除这种不确定性，确保薄膜沉积的稳定性，让温度始终控制在理想的范围内——即晶圆表面。 我们的短...