半导体加热技术的未来

在制造车间里，即使软化烘烤过程中的温度偏差只有半度，也足以导致关键尺寸控制失灵，从而使晶圆报废。在光刻和光阻处理过程中，热稳定性并非可有可无的附加条件——它本身就是整个工艺流程中的关键要素。我们设计的加热系统能够24/7持续工作，确保每次烘烤时的温度都保持一致，没有任何例外。 从技术层面来看，重要...