标签为“更换”的页面如下 Mattson RTP灯管更换 简介 我们创造这款Mattson RTP替换灯的目的，并非只是再制造一盏普通的灯而已。我们希望它能够与那些知名品牌的产品相媲美。说实话，关键在于其内部所使用的材料。我们采用了与那些知名品牌相同的顶级石英材质以及高纯度钨丝。这样一来，无论在何种高温环境下，这盏灯都能正常工作。 技术细节 在RTP技术... 阅读更多 Fab灯的替换灯丝 在光刻车间中，光阻烘烤环节决定了整个光刻流程中的温度控制参数。如果光源性能下降，那么软烘烤和硬烘烤时的温度就会出现偏差，这种情况几分钟之内就能被察觉——此时会出现CD偏移现象，进而导致产品良率下降。我们设计的替代灯丝能够保持稳定的温度曲线，从而确保每次加工时的温度都处于可控范围内。 真正重要的是在... 阅读更多
Mattson RTP灯管更换 简介 我们创造这款Mattson RTP替换灯的目的，并非只是再制造一盏普通的灯而已。我们希望它能够与那些知名品牌的产品相媲美。说实话，关键在于其内部所使用的材料。我们采用了与那些知名品牌相同的顶级石英材质以及高纯度钨丝。这样一来，无论在何种高温环境下，这盏灯都能正常工作。 技术细节 在RTP技术... 阅读更多
Fab灯的替换灯丝 在光刻车间中，光阻烘烤环节决定了整个光刻流程中的温度控制参数。如果光源性能下降，那么软烘烤和硬烘烤时的温度就会出现偏差，这种情况几分钟之内就能被察觉——此时会出现CD偏移现象，进而导致产品良率下降。我们设计的替代灯丝能够保持稳定的温度曲线，从而确保每次加工时的温度都处于可控范围内。 真正重要的是在... 阅读更多
