在半导体设备加热过程中 红外加热与强制空气加热在缩短耗时方面的比较

别再等待清洁车了 如果在半导体生产线上搬运晶圆，你一定知道其中的麻烦。为了保持温度稳定，必须不断努力。目前大多数工厂仍在使用热空气循环系统，不过说实话，这种做法效率很低。 强制空气对流的速度实在太慢了。实际上，你得等待大量空气变热之后才能让热量作用于晶圆上，这无疑是在浪费时间。 而红外线技术则有所...