降低半导体洁净室中的循环时间：红外线加热与强制空气加热的对比

在半导体洁净室中使用红外加热器 如果你仍然依赖热空气循环来为工件加热，那你一定知道这有多麻烦。你打开加热器后，就只能等待。实际上，你是在让洁净室内的每一立方英寸的空气都变热，才能让工件达到合适的温度。这个过程既缓慢又低效。 而如果使用红外加热器，情况就完全不同了。它可以直接将能量输送到工件上，无需...