工厂干燥系统的能源审计

保持洁净：关于晶圆干燥的真相 在100级洁净室中，哪怕只有一粒灰尘存在，都会造成灾难性后果。如果加热元件释放出哪怕一点点颗粒物，那整批晶圆就毁了。就是这么简单。 大多数人会使用普通的金属外壳加热器或廉价的陶瓷加热器，但这些材料随着时间推移会释放气体或出现剥落现象。因此，我们选择使用高纯度的合成石英...