节能型半导体加热器

停止让机器的壁面过热 如果你曾经使用过半导体加工设备，那么一定明白“壁面过热”带来的困扰。你试图加热晶圆或基材，结果却是整个机器内部都变得非常热。这不仅浪费能源，还会让机器的金属外壳变成对操作人员的一种威胁。 问题在于，普通的加热器会将能量向各个方向散发，导致整个机器内部都过度升温，包括那些本不必...