Verhindern Sie, dass Ihre Infrarotlampen Ihre Wafer zerstören
Wenn Sie eine Anlage mit hohem Belastungsniveau betreiben, kennen Sie dieses Problem nur allzu gut. Eine Infrarotlampe geht kaputt – und das ist nicht nur ein Problem bezüglich der Stillstandszeiten, sondern auch wegen des Chaos, das entsteht. Wenn eine Quarzröhre kaputtgeht, fallen Glasscherben sowie Wolframfäden auf die Siliziumwafer. Ein einziger Defekt genügt bereits, damit ganze Chargen von Wertlosigkeit werden.
Wir haben viel Zeit in die Entwicklung unserer Steuergeräte und Lampenkomponenten investiert, damit so etwas nie passiert.
Umgang mit thermischen Spannungen
Die meisten Lampen versagen aufgrund von thermischen Schocks. Sie können plötzliche Temperaturänderungen einfach nicht verkraften. Deshalb verwenden wir keine einfachen Ein-/Ausschalter. Unsere digitalen Steuergeräte steuern den Auf- und Abbauprozess der Temperatur sorgfältig. Durch die Regulierung der Leistung verhindern wir, dass der Quarz zu schnell erhitzt wird und dadurch Risse bekommt.
Wir verwenden hochreinen geschmolzenen Quarz – er kann die Hitze besser aushalten. Doch Physik ist nun mal Physik: Wenn man 2000 Watt durch eine kurze Röhre leitet, werden die Enden der Röhre extrem heiß. Um dies zu vermeiden, haben wir verstärkte Endkappen eingebaut, die die Spannungen verteilen.
Reinigung
Um „sekundäre Verschmutzungen“ zu vermeiden, haben wir eine physische Trennwand zwischen der Lampe und den Wafern eingebaut. Alles wird in einer schützenden Hülle aus Quarz oder Edelstahl untergebracht. Wenn eine Lampe kaputtgeht, fangen die Hüllen die Glasscherben auf – die Wafer bleiben unversehrt.
Außerdem haben wir einen Sicherheitsmechanismus eingebaut. Das Steuergerät überwacht kontinuierlich den Widerstand der Lampe. Wenn es einen plötzlichen Anstieg oder Abfall des Widerstands feststellt – was meist bedeutet, dass ein Filament gerissen ist – schaltet das System sofort die Stromzufuhr für diese Zone ab. Dadurch werden die anderen Lampen davon abgehalten, ebenfalls zu beschädigen.
Der Kompromiss
Der Nachteil ist, dass diese Schutzhüllen einen kleinen Teil der Infrarotstrahlung blockieren. Sie müssen daher Ihre Leistungs-Einstellungen etwas erhöhen, damit die Trocknungsprozesse weiterhin funktionieren. Aber ehrlich gesagt: Das ist ein kleiner Preis, den man zahlen muss. Ich würde lieber ein paar Sekunden länger warten, als eine Charge von 100.000 Dollar Wert zu verlieren, nur weil eine Lampe kaputtgegangen ist.