Використання інфрачервоних нагрівачів у вашій камері для обробки напівпровідників Якщо ви все ще використовуєте систему циркуляції гарячого повітря для процедур глибокої обробки, ви знаєте, які труднощі це створює. Ви увімкнути нагрівач, а потім… чекаєте. Фактично ви нагріваєте кожен кубічний дюйм газу в камері, щоб досягти потрібної температури поверхні оброблюваного елемента. Це повільно та неефективно. Саме тут перехід на інфрачервоні нагрівачі змінює ситуацію. Замість боротьби з повітрям, інфрачервоні промені безпосередньо передають енергію на поверхню оброблюваного елемента. Не витрачайте час на „нагрівання“ Повітря є поганим провідником тепла. Коли ви використовуєте вентилятори, ви витрачаєте чимало часу на нагрівання стінок камери та атмосфери всередині неї ще до початку самої обробки. Це значна втрата часу. Інфрачервоні нагрівачі усувають цю проблему. Потік тепла є майже миттєвим. Для тих, хто займається обробкою напівпровідників з високою точністю, це величезна перевага. Час обробки скорочується, а також не утворюється пил чи інші забруднення внаслідок циркуляції повітря. Проблеми та способи їх вирішення Ми розробляємо інфрачервоні нагрівачі так, щоб вони підходили для використання в тісних просторах камери. Використовуючи емітери коротко- чи середньохвильового діапазону, можна точно направити тепло на поверхню оброблюваного елемента, не нагріваючи при цьому решту простору камери. Але є одна проблема: їх не можна просто підключити та залишити без уваги. Інфрачервоні нагрівачі реагують набагато швидше, ніж традиційні резистивні нагрівачі. Якщо параметри керування не налаштовані правильно, температура може швидко перевищити необхідний рівень. Крім того, якщо в одній точці зосередити занадто багато потужності, можуть утворитися „гарячі точки“. Необхідно знайти оптимальний баланс між потужністю та відстанню до оброблюваного елемента, щоб усе було рівномірно нагріте. Як ефективно використовувати інфрачервоні нагрівачі на практиці Заміна конвективної системи нагріву – це не проста процедура. Інфрачервоні нагрівачі потребують чіткого лінійного огляду. Якщо щось блокує шлях тепла, воно просто не досягне цілі. Щоб вирішити цю проблему, ми рекомендуємо використовувати дзеркальні чи багатокутні елементи. Це дозволяє усунути тіні та забезпечити рівномірне нагрівання з усіх боків. Ще одна порада: перевірте систему охолодження. Хоча температура повітря всередині камери залишається низькою, сам корпус нагрівача піддається значним навантаженням. Вам знадобиться ефективний система охолодження, щоб запобігти перегріву обладнання.