Як висушити пластини MEMS без їх пошкодження
Висушування пластин датчиків типу MEMS – це справжній виклик. Є необхідність швидко позбутися води з поверхні пластини, але якщо діяти занадто агресивно, можна пошкодити ці крихкі мікроструктури.
Щоб досягти оптимального рівня, ми використовуємо інфрачервоні нагрівачі у поєднанні з відбивачами, покритими золотом. Мета проста: уникнути марної витрати енергії та переконатися, що кожен фотон потрапляє на поверхню пластини.
Чому саме золото?
Більшість людей використовують алюмінієві відбивачі, але у них є проблема: алюміній поглинає велику кількість інфрачервоної енергії. Ми обираємо золото через його високу ефективність у відбитті близькочервоного світла назад туди, де воно має бути.
Але справа не лише у відбитті світла. Поєднуючи шар золота з точно виконаною параболічною формою, ми можемо „направити“ тепло на конкретну ділянку поверхні пластини. Це означає, що не потрібно підвищувати напругу на лампах для досягнення бажаного результату. Це значно простіше.
Баланс між потужністю та теплом
Під час налаштування всього обладнання важливо знайти баланс між швидкістю та безпекою. Звісно, лампи високої потужності чудово підходять для обробки великої кількості пластин. Але вони виділяють велику кількість тепла. Якщо система охолодження не налаштована правильно, це тепло залишається на поверхні пластини. Це може призвести до її деформації. Це справжня проблема, яку точно не хочеться мати.
Забезпечення стабільної роботи
Ми створили це обладнання так, щоб його можна було швидко замінити. Ніхто не хоче, щоб лінія зупинялась на кілька годин. Відбивачі розташовані ідеально відносно осі лампи, тож не виникає „холодних зон“ на поверхні пластини. Однак варто пам’ятати, що золото дуже чутливе до корозійних парів. Якщо на виробничій лінії є такі пари, покриття золота буде пошкоджене. Тож потрібно або захистити його, або постійно стежити за ним. Також потрібно бути обережним під час чищення – використовуйте правильні розчинники. Неправильне очищення може пошкодити поверхню пластини, а це призведе до зниження її ефективності.