Як підтримувати чистоту у приміщенні класу 100
У світі виробництва напівпровідників достатньо лише однієї крихти пилу чи навіть одної молекули газу, щоб зіпсувати весь вихід продукції. Це дуже розчаровує – адже ви все зробили правильно, але одна маленька крихта може зіпсувати всю партию продукції.
Часто причиною є сам елемент нагріву. Стандартні нагрівачі починають виділяти гази чи частинки вже при досягненні температури роботи. Щоб цього уникнути, ми використовуємо інфрачервоні лампи з високочистим кварцем разом із проводами, обмотаними політетрафторетиленом (PTFE).
Ось чому цей підхід ефективний.
Чари високочистого кварцу
Для цих ламп ми використовуємо синтетичний кварц. Це зовсім не звичайне скло – воно не виділяє металевих домішок у середовище, а також не деформується чи не розширюється під впливом тепла.
Найкраще те, що ці лампи використовують короткохвильове інфрачервоне випромінювання. Воно направляє енергію безпосередньо на поверхню матеріалу, не нагріваючи повітря навколо. Це дуже важливо, адже це запобігає утворенню конвективних течій, які можуть піднімати пил з підлоги та потрапляти в зону обробки.
Чому ми використовуємо PTFE
Якщо використовувати для проводів оболонки з ПВХ чи силікону, вони руйнуються під впливом високої температури. Вони починають виділяти хімічні речовини, які можуть завадити чистоті приміщення.
Тож ми використовуємо проводи, обмотані PTFE. Вони залишаються хімічно інертними – вони не плавляться, не виділяють неприємних запахів та не виділяють летких органічних сполук у повітря. Таким чином, проводи можуть витримувати високу температуру, не забруднюючи приміщення.
Реальність використання
Встановлення цих ламп у пристрої для нагріву напівпровідників є складним процесом. Потрібно ретельно продумати місце розташування проводів.
Пам’ятайте: PTFE є міцним матеріалом, але він не є недосяжним для пошкоджень. Якщо проводи будуть розташовані прямо в полі дії інфрачервоного випромінювання чи занадто близько до кварцевої оболонки, ізоляція з часом почне руйнуватися. Це відбувається поступово, але все одно відбувається.
Я завжди рекомендую використовувати захисні елементи чи забезпечити достатню відстань між проводами, щоб температура їх не перевищувала 260°C. Також необхідно контролювати потік повітря. Якщо система охолодження не ефективно відводить тепло від електричних контактів, ізоляція з часом буде пошкоджена.
Якщо правильно налаштувати потік повітря, ці лампи будуть працювати без проблем. Без частинок, без проблем.