На заводі з виробництва плівок термічні зміни не є просто відхиленнями – це фактори, які значно погіршують якість продукції. Якщо камера для спаттерингу відхиляється навіть на незначну відстань від потрібного положення, це призводить до неоднорідності товщини шару на поверхні плівки. Це, у свою чергу, впливає на процеси літографії та етchingу. Ми створили інфрачервоні нагрівачі, які допомагають усунути ці невизначеності, забезпечуючи стабільність процесу нанесення шару прямо на поверхні плівки.
Наші нагрівачі з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням передають тепло на плівку швидко та ефективно, забезпечуючи однорідність температури на поверхні плівки в межах ±0,1°C. Геометрія кварцового радіатора та система контролю дозволяють точно контролювати температуру, що дозволяє досягти бажаної товщини шару без перевищення значень. Під час обробки фотопротектора цей самий інфрачервоний принцип дозволяє ефективно усувати розчинник, а також забезпечує однорідність процесу висушування плівки. Це значно зменшує кількість вад та проблем, які можуть виникнути пізніше під час виробництва.
Цей пристрій призначений для використання в чистих приміщеннях. Корпус нагрівача не виділяє частинок у приміщеннях класу 1–100, а матеріали з низьким рівнем випаровування запобігають забрудненню під час тривалої роботи. Відсутність частинок на краях плівки означає менше відхилень та необхідності технічного обслуговування. Це забезпечує стабільні таймери виконання процедур, меншу кількість енергії, необхідної для обробки однієї плівки, а також однорідні властивості шару незалежно від парти продукції.
Встановлення пристрою є простим на більшості платформ для спаттерингу. Однак компактні розміри пристрою вимагають точного планування простору навколо захисних елементів та кріплень. Необхідно заздалегідь спланувати інтеграцію пристрою, врахувати можливості кріплення та переконатися у достатній відстані між елементами системи перед зміною процесу виробництва. Після встановлення пристрій працює 24/7 з мінімальними відхиленнями. Результати його роботи відповідають специфікаціям, що забезпечує однорідність продукції незалежно від парти.