Припиніть нагрівати свою обладнання – існує кращий спосіб нагріву пластин. Ось у чому проблема під час обробки напівпровідників: потрібно нагріти пластину, але водночас не можна дозволити, щоб решта дорогого обладнання розплавилась в процесі. Більшість стандартних нагрівачів поширюють тепло в усіх напрямках. Це призводить до того, що вся ця „зайва енергія“ потрапляє в стінки камери, через що обладнання стає надто гарячим на дотик. Крім того, це може пошкодити чутливі компоненти всередині обладнання. Це зовсім не ідеально. Секрет цілеспрямованого нагріву Ми вирішуємо цю проблему за допомогою ламп короткочастотного інфрачервоного випромінювання. Замість того, щоб поширювати тепло всюди, ці лампи спрямовують енергію прямо на пластину. Це досягається за допомогою спеціалізованих відбивачів та певних покриттів на кварцовому корпусі лампи. Завдяки цьому енергія потрапляє саме на місце призначення та залишається там. Це запобігає розсіюванню тепла в інші частини обладнання. Вибір оптимальної відстані Не можна просто поставити лампу прямо біля пластини. Якщо це зробити, можуть виникнути локальні точки надмірного нагріву, а в найгіршому разі пластина може згоріти. Усе залежить від відстані між лампою та пластиною. Якщо лампа знаходиться занадто близько, тепло буде розподілятися нерівномірно. Якщо занадто далеко – енергія буде витрачатися на нагрівання повітря навколо пластини. Ми завжди намагаємося знайти баланс між швидкістю нагрівання та рівномірністю розподілу тепла. І ще одна порада: якщо ви хочете прискорити процес нагрівання, потрібно збільшити відстань між лампою та пластиною або значно покращити систему охолодження стінок камери. Компроміси Ніщо не дається безкоштовно. Хоча цілеспрямований нагрів захищає стінки камери, він створює значний тиск на внутрішні елементи лампи. Оскільки енергія спрямовується лише на певну точку, сама лампа нагрівається значно більше. Потрібно бути обережними з проводкою. Переконайтеся, що ваші роз’єми можуть витримати необхідний струм; інакше можуть згоріти контакти. Також слід стежити за роботою вентиляторів охолодження. Якщо вони перестануть працювати, концентроване тепло може швидко пошкодити корпус лампи.