Mantendo sua sala limpa de classe 100 realmente limpa
No mundo da fabricação de semicondutores, até mesmo um único grão de poeira – ou uma única molécula de gás – pode arruinar todo o lote de wafers produzidos. É frustrante. Você fez tudo certo, mas um pequeno detrito acaba estragando tudo.
Muitas vezes, o culpado é o elemento de aquecimento. Os aquecedores padrão tendem a liberar partículas assim que atingem a temperatura de operação. Para evitar isso, usamos lâmpadas infravermelhas de quartzo de alta pureza, combinadas com fios isolados com Teflon (PTFE).
Aqui está por que isso funciona:
A magia do quartzo de alta pureza
Usamos quartzo sintético fundido nessas lâmpadas. É um material diferente do vidro comum. Ele não libera impurezas metálicas no ambiente e consegue suportar altas temperaturas sem se deformar ou expandir de maneira que cause problemas.
O melhor de tudo é que essas lâmpadas utilizam radiação infravermelha de onda curta. Elas enviam energia diretamente para o substrato, sem aquecer o ar ao redor. Isso evita que as correntes de convecção levantem poeira do chão e a levem para a área de processamento.
Por que insistimos no uso de Teflon (PTFE)?
Se você usar revestimentos de PVC ou silicone nos fios, eles vão se deteriorar sob o calor intenso das lâmpadas infravermelhas. Eles começam a liberar substâncias químicas invisíveis no ambiente.
Por isso, usamos fios revestidos com PTFE. Eles são quimicamente inertes. Não derretem, não emitem cheiros e não liberam compostos orgânicos voláteis no ar. Assim, os fios conseguem suportar altas temperaturas sem poluir o ambiente.
A realidade de instalar tudo isso
Instalar essas lâmpadas em um aquecedor de semicondutores não é fácil. É preciso pensar bem onde os fios serão colocados.
Lembre-se: o PTFE é resistente, mas não é invencível. Se os fios forem colocados diretamente na linha de visão do feixe infravermelho, ou muito perto do revestimento de quartzo, o isolamento acabará se danificando. É um processo lento, mas acontece.
Eu sempre recomendo o uso de um escudo térmico ou de um espaço suficiente entre os fios, para manter a temperatura dos fios abaixo de 260°C. Além disso, verifique o fluxo de ar. Se o sistema de resfriamento não conseguir retirar o calor dos terminais elétricos, o isolamento vai se deteriorar com o tempo.
Se você garantir um bom fluxo de ar, essas lâmpadas funcionarão sem problemas. Sem partículas, sem problemas.