Stop met het verhitten van je apparatuur: een betere manier om wafers op te warmen
Hier ligt het probleem bij de verwerking van halfgeleiders: je moet de wafer opwarmen, maar je wilt de rest van je dure apparatuur hierbij niet laten smelten. De meeste standaardverwarmers stralen hitte in alle richtingen uit. Dat leidt tot veel problemen. Die ‘verspilde hitte’ dringt rechtstreeks in de wanden van de kamer, waardoor de apparatuur gevaarlijk heet wordt aan te raken. Bovendien kunnen de gevoelige onderdelen beschadigd raken. Dat is zeker niet ideaal. Het trucje voor gerichte verwarming Wij gebruiken hiervoor korte-golf-infraroodlampen. In plaats van hitte overal heen te sturen, richten deze lampen de energie precies op de wafer. Dit bereiken we door gebruik te maken van gespecialiseerde reflectoren en slimme coatings op de kwartsomhulling. Hierdoor komt de energie precies waar ze nodig is terecht. De hitte dringt niet meer door naar de buitenkant van de kamer, waardoor je apparatuur veilig blijft. Vinden van de juiste afstand Je kunt de infraroodlamp natuurlijk niet recht tegen de wafer zetten. Als dat wel gebeurt, ontstaan er lokale hittepunten of, in het ergste geval, wordt het oppervlak van de wafer beschadigd. Het gaat erom de juiste afstand te vinden. Als de lamp te dichtbij is, is de hitte niet gelijkmatig verdeeld. Te ver weg? Dan verspil je energie door de lucht rondom de wafer op te warmen. We besteden veel tijd aan het vinden van het juiste evenwicht tussen de snelheid waarmee de temperatuur stijgt en de gelijkmatigheid van de hitte. En nog een tip: als je de sterkte van de lamp verhoogt om het proces te versnellen, moet je de afstand vergroten of de koeling van de wanden van de kamer verbeteren. De compromissen Niets is gratis. Hoewel gerichte verwarming de wanden van je apparatuur beschermt, zorgt het wel voor meer belasting op de binnenkant van de lamp. Omdat de energie zo gericht wordt gestuurd, wordt de lamp zelf erg heet. Je moet goed opletten met de bedrading. Zorg ervoor dat de connectoren voldoende stroom kunnen verwerken. Anders kunnen de verbindingen beschadigd raken. En houd vooral de koelventilatoren in de gaten. Als deze stoppen met werken, zal de geconcentreerde hitte de lamp sneller beschadigen dan je kunt reageren.