Houd je Class 100-schoonruimte echt schoon Wanneer je dingen verwarmt in een vacuümkamers in een Class 100-omgeving, kun je het je niet veroorloven om één fout te maken. Eén klein beetje stof of een ongewenst chemisch gas kan ervoor zorgen dat al je wafers nutteloos worden. De meeste standaardverwarmer zijn er niet op gebouwd om dit te doen. Ze lekken bindmiddelen of oxideren, waardoor er vuil op het product terechtkomt. Daarom gebruiken we lampen gemaakt van hoogzuiver synthetisch kwarts. De strijd tegen ‘mistvorming’ Glas heeft een nadeel: in een vacuüm willen de onzuiverheden graag naar het oppervlak migreren en verdampen. Als het kwarts niet van topkwaliteit is, zal er een mistlaag op het product ontstaan. We gebruiken gesmolten silicium met een hoge hoeveelheid hydroxylgroepen (OH). Het klinkt technisch, maar dat betekent gewoon dat de lamp niet kapotgaat of giftige gassen afgeeft, zelfs wanneer de temperaturen zeer hoog zijn. Het product blijft dus schoon. Omgaan met de hitte Vacuümemplementen zijn lastig, omdat er geen lucht is om de hitte doorheen te laten gaan. Alles gebeurt via straling. We hebben deze lampen zo afgesteld dat ze kortegolflengte-infraroodstraling uitzenden. Hierdoor dringt de hitte dieper in het materiaal door, zodat je niet lang hoeft te wachten tot alles op temperatuur is. Het gaat snel. Er is echter wel een nadeel: omdat de lamp de hitte niet in de lucht kan afgeven, worden de uiteinden van de lamp enorm heet. Als je de koelingsystemen niet goed instelt, kunnen er lekken ontstaan. Dit moet zeker worden gecontroleerd voordat je de lamp aanzet. De kleine details We hechten veel belang aan de constructie van de lamp. Geen goedkope plasticonderdelen, geen lijm. We lassen de leidingen van de lamp met hoogzuiver metaal, zodat er geen restanten van lijm achterblijven. Ook de pasvorm is belangrijk. We zorgen ervoor dat er geen ruimte is voor trillingen, want trillingen kunnen juist tot het ontstaan van ongewenste deeltjes leiden. Je krijgt dus de benodigde hittedichtheid om de productie soepel te laten verlopen, zonder dat je je zorgen hoeft te maken over een lagere opbrengst. Onthoud alleen: hoe meer wattage er wordt gebruikt, des te harder moet het koelsysteem werken om te voorkomen dat de rest van de kamers te heet wordt.