Stop de schade: Houd je wafers schoon wanneer de infraroodverwarmingssystemen falen
In een halfgeleiderfabriek met hoge productiesnelheden is het breken van een infraroodlamp allesbehalve een klein probleem. Het is eerder een nachtmerrie. Als er een kwartsbuis kapotgaat, wordt het oppervlak van de wafers bedekt met kleine glasdeeltjes en metalen stukjes. Hierdoor is de hele partij onbruikbaar. We hebben veel tijd besteed aan het vinden van manieren om dit te voorkomen.
De veiligheidsmaatregelen
We vertrouwen niet alleen op de kwartsbuis om alles bij elkaar te houden. In plaats daarvan omhullen we de verwarmingsunit met een extra beschermende laag. Stel je dit voor als een schild gemaakt van hoogzuiver kwarts. Als het binnenste deel van de lamp kapotgaat of uitvalt onder druk, vangt deze laag al het vuil op. Hierdoor blijft de vacuümruimte schoon en blijft de lucht zuiver. Je hoeft dan ook geen drie dagen lang de ruimte schoon te maken.
Omgaan met de hitte
Lampen met hoge vermogens worden extreem heet. Als het glas te veel spanning ervaart, zal het kapotgaan. Om dit tegen te gaan, gebruiken we kwarts met dikke wanden. Dit materiaal kan de snelle temperatuurschommelingen aan – zonder dat het vervormt. We letten ook goed op de elektrische verbindingen. Waarom? Omdat losse verbindingen tot oververhitting kunnen leiden. Dat kan weer zorgen voor branden in de lampen. Het is een klein detail, maar het maakt wel verschil tussen een lamp die lang meegaat en een lamp die explodeert.
De prijs die je moet betalen
Er is echter wel een nadeel: de beschermende laag belemmert een beetje het doorstromen van het infraroodlicht. Hierdoor verlies je wat energie vergeleken met een lamp zonder bescherming. Je moet misschien de opwarmtijd aanpassen of de stroomsterkte verhogen om de gewenste temperatuur te bereiken. Maar eerlijk gezegd is dat een kleine prijs om te voorkomen dat je een hele partij wafers moet weggooien.
Het behouden van de functionaliteit
Voor de installatie gebruiken we gestandaardiseerde connectors, zodat alles goed vastzit. Een lamp die loszit, trilt tijdens het gebruik. Die mechanische spanning kan de lamp beschadigen. Nog een tip: wanneer je lampen vervangt, kijk ook eens naar de koelmiddelen. Als de luchtcirculatie niet goed is, kunnen de uiteinden van de lampen oververhit raken en kapotgaan. Zorg ervoor dat de lucht goed circuleert, zodat je kwartslampen langer meegaan.