이제 더 이상 클린룸용 카트를 기다리지 마세요. 반도체 생산 공정에서 웨이퍼를 한 스테이션에서 다른 스테이션으로 옮길 때는 항상 온도를 일정하게 유지하기 위해 애를 써야 합니다. 대부분의 공장들은 여전히 열공기 순환 방식을 사용하고 있지만, 솔직히 말해서 그건 효율적이지 않습니다. 강제 공기 순환 방식은 너무 느립니다. 결국 큰 양의 공기가 따뜻해질 때까지 기다려야 하므로 시간 낭비가 됩니다. 적외선 방식의 장점은 바로 이것입니다. 적외선은 공기를 거치지 않고 전자파를 이용해 직접 목표물을 가열합니다. 방 안이 따뜻해질 때까지 기다리는 것과, 그냥 햇볕 아래에 서 있는 것의 차이를 상상해보세요. 이 장치를 카트에 장착하면, “따뜻해지는” 시간이 분에서 초로 줄어듭니다. 방 전체를 가열할 필요 없이, 오직 원하는 부분만 가열하면 됩니다. 그러니 지연 현상도 사라집니다. 물론, 이건 마법 같은 것은 아닙니다. 적외선 방식으로 전환하는 것은 그렇게 간단한 일이 아닙니다. 이러한 히터들은 작은 공간 안에 많은 에너지를 담고 있어서 공간 활용 면에서는 좋지만, 제어 시스템에는 압력이 가해집니다. 빠르게 반응할 수 있는 PID 컨트롤러가 필요합니다. 센서의 반응이 느리다면 온도가 너무 높아져 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 이런 실수는 한 번만 저지르면 됩니다. 하지만 숨겨진 장점도 있습니다. 이 장치들은 기존의 프레임에 그대로 장착될 수 있습니다. 그러니 더 이상 부피가 큰 공기 순환 장치를 사용할 필요가 없으므로 진동도 줄어듭니다. 그 결과 웨이퍼의 온도도 훨씬 더 안정적으로 유지됩니다. 진짜 이점은 시간입니다. 온도 상승 시간이 줄어들면 모든 작업이 더 빠르게 진행됩니다. 그 결과 한 교대 근무 시간 동안 더 많은 작업을 할 수 있습니다. 게다가 전기 요금도 줄어듭니다. 더 이상 HVAC 시스템과 싸울 필요가 없으니까요. 그냥 더 직접적인 방식으로 작업을 처리하는 것뿐입니다. 다만 카트의 재질이 적외선을 흡수할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 열이 카트의 몸체에 반사되어 에너지가 낭비될 뿐입니다.