클래스 100급 청정실을 진정으로 깨끗하게 유지하는 방법
반도체 제조 과정에서는 단 한 알의 먼지나 기체 분자만으로도 웨이퍼의 품질이 망가질 수 있습니다. 정말 실망스러운 일입니다. 모든 것을 올바르게 처리했음에도 불구하고, 아주 작은 이물질 하나로 인해 전체 생산물이 망가질 수 있습니다.
대부분의 경우, 문제의 원인은 가열 요소에 있습니다. 일반적인 히터는 작동 온도에 도달하자마자 가스를 방출하거나 입자를 내보내는 경향이 있습니다. 이를 방지하기 위해 우리는 고순도 석영 적외선 램프와 특수한 테플론(PTFE) 절연선을 함께 사용합니다.
그렇다면 왜 이 방법이 효과적일까요?
고순도 석영의 효능
우리는 이러한 램프에 합성된 융합 석영을 사용합니다. 이는 일반적인 유리와는 다릅니다. 금속성 불순물이 외부 환경으로 유출되지 않으며, 열에 의해 변형되거나 팽창하지도 않습니다.
가장 좋은 점은, 이 램프들이 단파 적외선을 사용한다는 것입니다. 에너지가 공기를 가열시키지 않고 직접 기판에 전달됩니다. 이를 통해 바닥의 먼지가 공기 중으로 날아가는 것을 막을 수 있습니다.
테플론(PTFE)을 사용하는 이유
만약 배선에 PVC나 실리콘 커버를 사용한다면, 적외선 램프의 강한 열로 인해 그 커버들이 손상될 것입니다. 그 결과, 보이지 않는 화학물질들이 청정실 내로 유출됩니다.
그래서 우리는 PTFE로 코팅된 배선을 사용합니다. PTFE는 화학적으로 안정적이어서 녹지도 않고, 냄새도 나지 않으며, 휘발성 유기화합물(VOCs)도 방출하지 않습니다. 따라서 배선이 열에 견딜 수 있으면서도 청정실을 오염시키지 않습니다.
실제 설치 시 주의사항
이러한 램프를 반도체 히터에 장착할 때는 공간 활용이 중요합니다. 배선이 어디에 위치할지 신중하게 고려해야 합니다.
테플론은 튼튼하지만, 완전히 무적인 것은 아닙니다. 만약 배선을 적외선 빔의 직선 상에 두거나 석영 커버에 너무 가까이 둔다면, 절연层가 결국 손상될 수 있습니다. 이는 서서히 진행되는 과정이지만, 분명히 일어납니다.
따라서 배선의 온도를 260°C 이하로 유지하기 위해 열 차단재를 사용하거나 충분한 여유 공간을 확보하는 것이 좋습니다. 또한 공기 흐름도 확인해야 합니다. 냉각 시스템이 전기 단자에서 열을 제대로 빼내지 못한다면, 절연层가 시간이 지나면서 손상될 것입니다.
공기 흐름을 적절히 조절한다면, 이 램프들은 문제없이 작동할 것입니다. 이물질도 없고, 문제도 없습니다.