클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 환경에서 진공 챔버 내부를 가열할 때는 단 한 번의 실수도 용납될 수 없습니다. 아주 작은 양의 먼지나 화학물질만 있어도 웨이퍼 전체가 폐기되고 맙니다. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 이러한 상황에 적합하지 않습니다. 그런 요소들은 접착제가 누출되거나 산화되는 문제가 있어서, 결국 오염물질을 기판 위에 남기게 됩니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 인파란등을 사용합니다. “안개 현상”을 막는 방법 유리의 경우, 진공 상태에서는 불순물들이 표면으로 이동하여 증발하기 쉽습니다. 만약 석영의 품질이 좋지 않다면, 작업물에 안개처럼 보이는 필름이 생깁니다. 우리는 수산기(OH) 함량이 높은 융합 규소를 사용합니다. 이는 기술적으로 복잡해 보일 수 있지만, 간단히 말해 열주기가 심해져도 등이 파괴되거나 가스가 발생하지 않는다는 뜻입니다. 그래서 작업물은 항상 깨끗하게 유지됩니다. 열 처리 문제 진공 환경에서는 공기가 없어서 열이 움직일 수 없습니다. 모든 것은 복사를 통해 이루어집니다. 우리는 이러한 등들을 조정하여 단파장의 적외선을 방출하도록 했습니다. 이렇게 하면 재료 속으로 더 깊이 침투하여 물건이 따뜻해지기를 기다릴 필요가 없습니다. 매우 빠릅니다. 하지만 단점도 있습니다. 등이 공기 중으로 열을 배출할 수 없기 때문에 등의 끝부분이 매우 뜨거워집니다. 만약 수냉식 부품을 제대로 설치하지 않으면 밀폐성이 저하되고 누수가 발생할 수 있습니다. 스위치를 켜기 전에 반드시 확인해야 합니다. 세부 사항 우리는 제품의 구조에 매우 신경 씁니다. 저품질의 플라스틱이나 접착제는 사용하지 않습니다. 등의 전선들은 고순도 금속을 사용하여 용접되며, 그래서 잔여물이 전혀 남지 않습니다. 또한, 등의 위치도 정확해야 합니다. 진동도 원치 않는 불순물을 생성할 수 있으므로, 진동이 발생하지 않도록 해야 합니다. 이렇게 하면 생산 속도를 유지하면서도 수율이 떨어지는 것을 걱정할 필요가 없습니다. 다만, 전력을 많이 사용할수록 냉각 시스템이 더 열심히 작동해야 한다는 점을 기억해야 합니다.