適切な加熱を実現する：より良いウェーハ硬化の秘訣 半導体ウェーハを硬化させる際の目的はシンプルです。つまり、基板を損なわずに、必要な場所に正確に熱を与えることです。 私たちは赤外線を利用しています。なぜでしょうか？それは、溶剤や燃焼が不要であり、また、今注目されている環境に優しく、鉛を含まない基準にも適合しているからです。しかし実際には、ランプが注目を浴びているだけで、実際に重要な役割を果たしているのは反射器です。
エネルギーの無駄遣いをやめよう 赤外線ランプを考えてみてください。このランプは、エネルギーをあらゆる方向に放出します。そのまま放置しておくと、その半分の熱が装置の外壁に当たって無駄になってしまいます。これは単なるお金と電力の無駄です。 そこで、高純度のアルミニウムや金メッキされた反射器を使用します。これらの反射器は、余分なエネルギーを捉えて、再びウェーハに戻すのです。そうすることで、熱がより強くなり、硬化が速く進みます。また、電気代も削減できます。とても簡単です。
適切な材料の選択 波長に応じて、通常は陽極酸化処理されたアルミニウムや研磨済みのステンレス鋼を使用します。 短波長の赤外線を使用する場合は、ほぼすべての光を反射できる表面が必要です。もし適切な材料を使わなければ、反射器自体が熱を吸収してしまいます。そうなると、金属が変形し、焦点がずれてしまい、ウェーハに“ホットスポット”ができてしまいます。ちょっとした違いで、チップが壊れてしまうのです。
重要な細部まで考慮する このシステムを設置するのは、ある意味、技術が必要です。ランプと反射器の位置合わせが正確でなければなりません。 実際、わずか1mmの隙間があるだけで、効率が10％低下してしまいます。 また、「熱の逃げ道」も忘れてはいけません。赤外線はクリーンですが、非常に強力です。もし筐体に熱を効果的に逃がす方法がなければ、周囲の電子機器が壊れてしまいます。これはバランスを取る必要があるのです。 私たちは、このような反射器をそのまま交換可能な形で作っています。オーブン全体を取り壊したり、レイアウトを再設計する必要はありません。単に交換するだけで、グリーンエネルギーの目標を達成し、生産ラインを維持できます。