फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में ही पूरे लिथोग्राफी चक्र के लिए आवश्यक ऊष्मा-संबंधी मान निर्धारित किए जाते हैं। यदि लैंप ठीक से काम नहीं करता, तो “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” के दौरान तापमान में बदलाव हो जाता है; ऐसी स्थिति में कुछ ही मिनटों में ही समस्याएँ सामने आ जाती हैं – वेफर पर असमानताएँ देखने को मिलती हैं, उत्पादन में कमी आ जाती है। हमने ऐसे फिलामेंट विकसित किए हैं, जिससे ऊष्मा-संबंधी मान स्थिर रहें।
वास्तव में, महत्वपूर्ण बात तो यह है कि लोड के दौरान भी प्रक्रिया स्थिर रहे। फिलामेंट को छोटी-मध्यम तरंगदैर्घ्यों के लिए ही डिज़ाइन किया गया है; इससे विकिरण स्थिर रहता है, एवं हॉटप्लेट की सतह पर तापमान भी नियंत्रित रहता है। वेफर पर तापमान स्थिरता ±0.1°C तक होती है; क्योंकि विकिरण नियंत्रित रहता है, एवं क्वार्ट्ज आवरण की ज्यामिति भी स्थिर रहती है। हमने कनेक्टरों एवं आवरणों के आकारों को मूल उपकरणों के अनुरूप ही चुना है; ऐसे में यह उपकरण मानक विद्युत आपूर्ति एवं तापमान नियंत्रकों के साथ भी काम कर सकता है।
सामग्री का चयन ऐसे ही किया गया है कि इससे कम गैस निकले, एवं कोई कण भी न बने; इससे क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी समस्याएँ नहीं होतीं, एवं कणों की संख्या भी नियंत्रित रहती है।
व्यवहार में यह उपकरण क्यों कारगर है? इसका कारण यह है कि फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में उच्च सटीकता होती है; इससे हजारों चक्रों तक भी प्रक्रिया स्थिर रहती है। ऊर्जा-खपत भी ऑप्टिमाइज़्ड हो जाती है, एवं लंबे समय तक काम करने के कारण लैंप बदलने की आवश्यकता भी कम हो जाती है – इससे अप्रत्याशित रुकावटें भी कम हो जाती हैं। परिणामस्वरूप, प्रक्रिया स्थिर रहती है, एवं CD नियंत्रण भी स्थिर रहता है।
कुछ अतिरिक्त जानकारियाँ… लैंप की स्थापना के दौरान लैंप की दिशा एवं टॉर्क सीमाओं का ध्यान रखना आवश्यक है; अन्यथा असमानताएँ पैदा हो जाती हैं। लैंप बदलने से पहले रिफ्लेक्टर की स्थिति एवं सॉकेट के संपर्क बिंदुओं की सफाई भी आवश्यक है। निर्धारित वोल्टेज सीमाओं से बाहर काम करने से लैंप का जीवनकाल कम हो जाता है, एवं तापमान में भी बदलाव हो जाता है। सर्वोत्तम परिणामों हेतु, फिलामेंट को तापमान सेंसरों के नियमित कैलिब्रेशन के साथ ही उपयोग में लाना आवश्यक है।