लिथो-फ्लोर पर, किसी भी तरह का विचलन स्वीकार्य नहीं है। थोड़ा सा भी विचलन होने से फोटोरेजिस्ट की संरचना प्रभावित हो जाती है, और ऐसी स्थिति में सीडी को नियंत्रित रखना बहुत मुश्किल हो जाता है। यदि हीटिंग प्रक्रिया में कोई विचलन हो जाए, तो किनारों पर धब्बे या अन्य समस्याएँ उत्पन्न हो सकती हैं; ऐसी स्थिति में समस्याओं को ठीक करना बहुत मुश्किल हो जाता है। आवश्यकता ऐसी हीटिंग प्रक्रिया की है, जो तेजी से ऊष्मा प्रदान करे, वांछित स्थान पर ही ऊष्मा जमा हो, एवं बार-बार ऐसा ही होता रहे।
प्रक्रिया के दौरान क्या महत्वपूर्ण है?
हमने फोटोरेजिस्ट को सुखाने हेतु शॉर्ट-वेव NIR लैंपों का उपयोग किया है; इससे फोटोरेजिस्ट तेजी से गर्म हो जाता है। हीटिंग क्षेत्र में वेफर के स्तर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक बनाए रखी जाती है, एवं तापमान नियंत्रण भी बहुत ही सटीक रहता है। यह सिस्टम क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही काम करता है, एवं इसकी संरचना उन सेमीकंडक्टर उपकरणों के अनुरूप ही है। हम आउटपुट विंडो, राइज़ टाइम एवं स्थिरता को भी ध्यान में रखते हैं; क्योंकि हीटिंग प्रक्रिया एक निश्चित प्रक्रिया होनी चाहिए, न कि कोई अनिश्चित चर।
उत्पादन में इसका क्या लाभ है?
आप इसके लाभों को माप सकते हैं। सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाओं में तापमान तुरंत ही वांछित स्तर पर पहुँच जाता है; इससे उत्पादन प्रक्रिया में विचलन कम हो जाता है। बेहतर तापमान नियंत्रण से कम समस्याएँ होती हैं, चिप्स की गुणवत्ता बेहतर रहती है, एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। बिजली की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि लैंप केवल आवश्यकता के अनुसार ही ऊष्मा प्रदान करता है। यह सिस्टम 24/7 काम करने हेतु ही डिज़ाइन किया गया है; फील्ड डेटा से पता चलता है कि इसका उपयोग लंबे समय तक किया जा सकता है, एवं अनप्लान्ड स्टॉप भी कम होते हैं।
इंस्टॉलेशन के दौरान क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
इंस्टॉलेशन के दौरान उपकरण के विद्युत एवं यांत्रिक इंटरफेस को ध्यान में रखना आवश्यक है; साथ ही फोटोरेजिस्ट एवं सब्सट्रेट स्टैक की विशेषताओं के अनुरूप ही तापमान सेटिंग्स निर्धारित करनी आवश्यक है। जब हीटिंग चैंबर पूरी तरह सील्ड रहता है, तभी लैंप सबसे अच्छा प्रदर्शन करता है; किसी भी प्रकार का वायु प्रवाह तापमान में असमानता पैदा कर सकता है। शुरुआत में ही प्रक्रिया का परीक्षण करके उसे ठीक करना आवश्यक है। ऐसा करने के बाद ही उत्पादन प्रक्रिया सुचारू रूप से चलती है।