Mantener su sala limpia de clase 100 realmente limpia Cuando se calientan los materiales dentro de una cámara al vacío en un entorno de clase 100, no se puede permitir cometer ni el más mínimo error. Un poquito de polvo o un gas químico accidental pueden arruinar todo el lote de wafers. La mayoría de los elementos calefactores estándar no están diseñados para este tipo de uso. Filtran sustancias contaminantes o se oxidan, lo que significa que esas sustancias terminan en el sustrato. Por eso preferimos usar lámparas de infrarrojos hechas de cuarzo sintético de alta pureza.
La lucha contra la formación de niebla El problema con el vidrio es que, en condiciones de vacío, las impurezas tienden a migrar hacia la superficie y evaporarse. Si el cuarzo no es de alta calidad, se formará una capa de niebla sobre la pieza que se está procesando. Nosotros utilizamos sílice fundida con un alto contenido de hidroxilo (OH). Suena técnico, pero significa que la lámpara no se descompone ni emite gases, incluso cuando las condiciones térmicas son intensas. Así, la pieza permanece limpia. Punto.
Manejo del calor Los entornos al vacío son complicados, ya que no hay aire que transporte el calor. Todo ocurre mediante radiación. Hemos ajustado estas lámparas para que emitan ondas infrarrojas de corta longitud. Esto permite que el calor penetre profundamente en los materiales, evitando así tener que esperar a que todo se caliente. Es rápido. Pero hay un problema: como la lámpara no puede liberar calor al aire, sus extremos se calientan enormemente. Si los conectores no están bien refrigerados, podrían derretirse y causar fugas. Es algo que hay que verificar antes de encenderla.
Los pequeños detalles Somos muy exigentes en cuanto a la fabricación de las lámparas. Sin plásticos baratos, sin adhesivos. Unimos los cables de la lámpara utilizando metales de alta pureza, para que no quede ningún residuo de soldadura. Incluso el ajuste de las piezas es preciso. Nos aseguramos de que no haya espacio para que vibren, ya que las vibraciones también generan partículas indeseadas. Así, obtiene la densidad de calor necesaria para mantener la producción en marcha, sin preocuparse por que la calidad disminuya. Recuerde: cuanto más vatios se utilicen, más trabajo tendrá que hacer el sistema de refrigeración para evitar que el resto de la cámara se sobrecaliente.