
Použití infračervených topení v vaší komoře na práci s polovodiči
Pokud stále spoléháte na cirkulaci horkého vzduchu při hluboké úpravě polovodičů, víte, jaké to je. Zapnete topení a potom… čekáte. V podstatě zahříváte každý kubický centimetr plynu v té komoře jen proto, abyste dosáhli správné teploty dílu. Je to pomalé a neefektivní.
Právě zde mění použití infračervených prvků situaci. Místo boje s vzduchem posílají infračervené elementy energii přímo do povrchu substrátu.
Přestaňte ztrácet čas na zahřívání Vzduch je špatný vodivák. Když používáte ventilátory, trávíte spoustu času jen tím, že zahříváte stěny komory a atmosféru předtím, než vůbec začnete pracovat. Je to obrovská ztráta času.
Infračervená topida tento problém vyřešují. Přenos tepla je téměř okamžitý. Pro ty z nás, kdo pracujeme s vysokou přesností s polovodiči, je to obrovská výhoda. Cykly práce se zkracují a nemusíte způsobovat vznik prachu nebo nečistot tím, že budete celou hodinu foukat vzduch po komoře.
Potíže (a jak je řešit) Tyto infračervené prvky jsou navrženy tak, aby zapadly do omezeného prostoru komory. Pomocí krátkovlnných nebo střednovlnných emitorů můžete zaměřit teplo přímo na wafer, aniž byste omylem zahřáli celou komoru.
Ale existuje jeden problém: nemůžete je prostě zapojit a odejít. Infračervené prvky reagují mnohem rychleji než staré rezistorové topidla. Pokud nejsou vaše PID smyčky správně nastaveny, dosáhnete nadměrné teploty během okamžiku. Navíc, pokud nasadíte příliš mnoho watů na jedno místo, vzniknou „horká místa“. Musíte najít tu správnou rovnováhu mezi výkonem a vzdáleností od dílu, abyste udrželi rovnoměrné zahřívání.
Jak to opravdu funguje v reálném světě Nahrazení konvekčního systému není jednoduchá záležitost. Infračervená topida vyžadují jasnou linii vidění. Pokud něco blokuje cestu, teplo prostě nedosáhne cíle.
Abychom to vyřešili, doporučujeme použití zrcadel nebo víceúhlových emitorů. To odstraní stíny a zajistí, že teplo dosáhne cíle ze všech stran.
Ještě jeden tip: kontrolujte chlazení. I když vzduch uvnitř komory zůstává chladný, samotné tělo topidla je vystaveno velkému zatížení. Budete potřebovat efektivní systém chlazení, abyste zabránili poškození hardwaru.