Jak udržet svou čistou místnost třídy 100 opravdu čistou
Ve světě výroby polovodičů stačí jediný zrnko prachu – nebo dokonce jedna atomová molekula plynu – aby zkazilo celou výrobu. Je to frustrující. Udělali jste vše správně, a přesto jeden malý kousek nečistoty zkazí celou šarži.
Často je viníkem topný prvek. Standardní topiče totiž začínají uvolňovat plynové látky nebo částice hned ve chvíli, kdy dosáhnou provozní teploty. Abychom tomu zabránili, používáme čiré infračervené lampy vyrobené z vysoce čistého křemene spolu s izolačními vlákny z Teflonu (PTFE).
Zde je důvod, proč to funguje:
Kouzlo vysoce čistého křemene
Pro tyto lampy používáme syntetický spojený křemen. Jedná se o materiál odlišný od běžného skla. Neuvolňuje do prostředí žádné kovové nečistoty a snáší teplo bez deformace nebo expanze, které by mohly způsobit problémy.
Nejlepší na tom je, že tyto lampy využívají krátkovlnné infračervené záření. Energii posílají přímo na substrát, aniž by zahřívaly vzduch kolem něj. To je velmi důležité, protože tak zabráním těm otravným konvekčním proudům, které zvedají prach ze země a dostávají ho přímo do procesní zóny.
Proč trváme na Tefonu (PTFE)
Pokud použijete na izolaci dráty z PVC nebo silikonu, ty se pod silným teplem infračervené lampy rozloží. V podstatě začnou uvolňovat neviditelné chemikálie do vaší čisté místnosti.
Proto volíme izolaci z PTFE. Ta zůstává chemicky inertní. Nebude tát, nebude vonět a neuvolní do vzduchu žádné těkavé organické sloučeniny. Máte tedy dráty, které dokážou odolat teplu bez znečištění místnosti.
Realita montáže
Montáž těchto lamp do topných zařízení je složitá. Musíte pečlivě zvážit, kam dráty umístit.
Mějte na paměti: PTFE je sice odolný, ale není nezlomný. Pokud dráty umístíte přímo v linii pohledu infračerveného paprsku nebo příliš blízko křemenné obálky, izolace nakonec shoří. Je to pomalý proces, ale stává se to.
Vždy doporučuju použít tepelnou ochranu nebo trochu více prostoru mezi dráty, abychom udrželi teplotu drátů pod 260 °C. Také zkontrolujte průtok vzduchu. Pokud váš chladicí systém nedokáže odvést teplo z elektrických kontaktů, izolace se postupem času zhorší.
Pokud nastavíte správný průtok vzduchu, tyto lampy budou fungovat bez problémů. Žádné částice, žádné problémy.