V prostoru výroby nejsou tepelné odchylky jen nepřesnostmi – jsou to také faktory, které snižují kvalitu výrobku. Pokud se komora určená k procesu sputterování odchýlí i o málo od správné hodnoty, vzniká napětí ve fólii a nerovnoměrnost její tloušťky. To má přímý vliv na proces litografie a leptání. Naše infračervené ohřívače jsou navrženy tak, aby odstranily tyto nepřesnosti a zajistily stabilitu procesu právě tam, kde je to důležité – na povrchu polovodičové destičky.
Náš krátkovlnný infračervený ohřívač poskytuje rychlé a přímé ohřívání destičky, čímž udržuje její tloušťku v rozmezí ±0,1 °C. Geometrie křemičitých radiátorů a systém uzavřené smyčky umožňují úzkou kontrolu teploty, takže dosáhnete požadované tloušťky bez jakýchkoli nadměrných odchylek. Při zpracování fotorezistu tentýž infračervený systém zajišťuje spolehlivé odstraňování rozpouštědel během předběžného zpracování a čisté, konzistentní výsledky – méně problémů spojených s nečistotami, které se později projevují jako chyby v kvalitě výrobku.
Ohřívač je navržen tak, aby mohl být použit v čistých prostorách. Jeho tělo funguje bez vzniku částic v prostředí třídy 1–100, a materiály s nízkým uvolňováním plynů zabraňují kontaminaci během dlouhodobého provozu. Nulová tvorba částic na okraji destičky znamená méně vadných výrobků a jednodušší údržbu. Výsledkem jsou stabilní časy procesu, nižší spotřeba energie na jeden výrobek a konzistentní vlastnosti fólie v rámci jednotlivých sérií výrobků.
Instalace je jednoduchá na většině platform určených k procesu sputterování. Avšak kompaktní velikost ohřívače omezuje prostor kolem ochranných prvků a zařízení. Je tedy potřeba plánovat integraci včas – zajistit správné spojení a ověřit prostor pro optické vazby ještě před změnou linek výroby. Jakmile je ohřívač nainstalován, funguje 24/7 s minimálními odchylkami. Opakovatelnost, kterou najdete v technických specifikacích, se projevuje i v praxi, v měřeních – vlastnosti výrobku zůstávají konzistentní v rámci jednotlivých sérií.