
Fırınınızı beklemeyi bırakın: UHP kızılötesi lambalarının işe yaramasının sebebi nedir?
Uzun süre boyunca, waferleri ısıtmak için sıcak hava dolaşımına güvenmek zorunda kaldık. Ancak sorun şu: Konveksiyon yavaştır. Aslında havanın ısınmasını bekliyorsunuz ve ardından da o havanın waferi istenen sıcaklığa getirmesini bekliyorsunuz. Bu oldukça zaman alıcı bir süreçtir.
İşte bu yüzden Ultra Yüksek Saflıkta (UHP) kızılötesi lambalara geçtik. Hava ile uğraşmak yerine, aracıları ortadan kaldırdık. Her şey doğrudan ısı ile ilgili.
Bunu, soğuk bir günde güneşin cildinize vurması gibi düşünün. Isıyı hissetmek için tüm atmosferin ısınmasına gerek yok; radyasyon doğrudan size ulaşıyor. Burada da durum aynı. Konveksiyon fırınları stabil hale gelmek için dakikalar harcarken, UHP lambalar saniyeler içinde işi hallediyor. Daha fazla waferi işlemek istediğinizde, bu tasarruf edilen dakikalar hızla toplanıyor.
Ancak herhangi bir lambayı oraya koymak yeterli değil. Bu alanda “gaz salınımı” büyük bir sorundur. Küçük bir metal kirliliği bile silikonun bozulmasına neden olabilir. Bunu önlemek için yüksek saflıkta sentetik kuvars kaplar kullanıyoruz. Ayrıca filamentleri de yakından izliyoruz. Eğer wattaj doğru ayarlanmazsa, sıcak noktalar oluşur ve bu da kötü sonuçlara yol açar.
Elbette bir denge gerekiyor. Daha yüksek wattaj daha hızlı ısı anlamına gelir. Ancak doğru ayarlamalar yapılmadığı takdirde sorunlar ortaya çıkabilir. Kuvars tüpü kırılabilir veya substrat deformasyona uğrayabilir. Hız ve stres arasında ince bir denge gerekiyor.
Geçişin gerçekliği…
Eğer sıcak hava yerine kızılötesi ısı kullanmayı düşünüyorsanız, bunun basit bir işlem olmadığını bilmelisiniz. PID kontrol cihazlarınızı ayarlamanız gerekecek. Kızılötesi ısı neredeyse anında etki gösterdiğinden, ayarlamalarınız çok daha hassas olmalıdır. Dikkatli olmazsanız, sistem henüz ısıtma işleminin başladığını fark etmeden hedef sıcaklığa ulaşabilirsiniz.
Ayrıca soğutmayı da unutmayın. Tüm radyant ısı waferlere ulaşmaz; bir kısmı geri seker. Eğer soğutma sistemi doğru şekilde ayarlanmamışsa, makinenizin bileşenleri zarar görebilir.
Biraz ayar gerektirir, ancak bir kez doğru şekilde ayarlandığında işler tamamen farklı bir hal alır.