MEMS waflarını kırmadan nasıl kurutursunuz?
MEMS sensör waflarını kurutmak oldukça hassas bir işlemdir. Suyun hızla uzaklaştırılması gerekiyor; ancak aşırı güç kullanılırsa bu kırılgan mikroyapılar zarar görebilir. Bu dengeyi sağlamak için infrared ısıtıcılar ve altın kaplı yansıtıcılar kullanıyoruz. Amaç oldukça basit: enerji israfını önlemek ve her bir fotonun wafta ulaşmasını sağlamaktır.
Neden altın?
Çoğu kişi alüminyum yansıtıcıları tercih eder; ancak alüminyum çok miktarda infrared enerjisini emer. Biz ise yüksek saflıkta altını kullanıyoruz; çünkü neredeyse tüm near-infrared ışığını geri yansıtabilir. Bu sadece yansıtma işlemiyle ilgili değil; altın katmanını hassas bir parabolik eğriyle birleştirerek ısıyı doğru yöne yönlendirebiliriz. Böylece wafta yoğun bir enerji demeti ulaşır ve lambaların voltajını artırmanıza gerek kalmaz. Bu daha akıllıca bir çözümdür.
Güç ve ısının dengelenmesi
Bu sistemleri kurarken hız ile güvenlik arasındaki denge çok önemlidir. Elbette yüksek güçlü lambalar, yüksek kapasiteli üretim hatlarında kullanışlıdır. Ancak bunlar çok fazla ısı üretir. Eğer soğutma sistemi düzgün çalışmazsa bu ısı orada kalır. Bir süre sonra sıcaklık ayarları bozulur ve waflar zarar görebilir. Bu kesinlikle istenmeyen bir durumdur.
Sistemin sürekli çalışmasını sağlama
Bu ünitelerin hızlıca değiştirilebilmesi için tasarlandı. Kimse üretimin saatlerce durmasını istemez. Yansıtıcılar lambanın ekseniyle mükemmel şekilde hizalanmıştır; böylece wafta “soğuk noktalar” oluşmaz. Ancak altının da hassas olduğunu unutmamak gerekir. Eğer üretim ortamında çok fazla korozif gaz varsa, bu kaplamalar zarar görür. Ya bu kaplamaları korumanız gerekir ya da onları yakından izlemeniz gerekir. Ayrıca temizlerken dikkatli olun; doğru çözücüler kullanın. Kaba bir bezle yapılan yanlış temizleme işlemleri yüzeyi hasar verebilir ve böylece verimlilik de düşer.