Wprowadzenie Chodzi o to: nie zamierzaliśmy po prostu stworzyć „jeszcze jednej” lampy. Stworzyliśmy tę lampę z serii Mattson RTP tak, aby mogła...

Precyzyjne grzałki halogenowe: sekret utrzymania stabilności na poziomie 0,1°C w fabrykach płytek krzemowych Stworzyliśmy te grzałki halogenowe...

Na linii produkcyjnej kluczowym etapem jest wypalanie fotorezystu – to właśnie wtedy określa się parametry termiczne całego cyklu litograficznego....

Na linii produkcyjnej wahania temperatury nie są zwykłymi odchyleniami – one powodują spadek jakości produktu. Pomieszczenie do procesu sputteringu,...

Na linii produkcyjnej nawet półstopniowa odchylenie w procesie podgrzewania wystarczy, by zakłócić precyzyjną kontrolę wymiarów płytek i skazać je na...

Na podłożu litograficznym nie można pozwolić sobie na żadne odchylenia. Nawet półstopniowe odchylenie temperatury może zakłócić profil fotorezystu, a...

Na linii produkcyjnej wystarczy odchylenie temperatury o 0,5°C podczas procesu wypalania photoresystu, aby zmienić szerokość ścieżek na płytkach...

W halach produkcyjnych naprawa narzędzi nie jest zaplanowana z wyprzedzeniem – to sytuacja awaryjna. Gdy awarii ulegają urządzenia do pokrywania...

Na hali litograficznej sytuacja jest dobrze znana. Nawet minimalne odchylenie temperatury miękkiego wypieku o ułamek stopnia może skutkować zmianą...

Out on the 300mm line, TSV stacking falls apart the moment thermal uniformity starts to drift. A single degree Celsius of excursion during the...

Na hali litografii, wypalanie fotorezystu to nie tylko etap termiczny — to także etap wymiarowy. Odchylenie o 1°C podczas miękkiego wypalania...