Di bilik proses pembuatan cip, proses pemanggangan bahan photoresist merupakan langkah penting untuk menentukan suhu yang sesuai sepanjang kitaran litografi. Jika lampu tersebut tidak berfungsi dengan baik, suhu semasa proses pemanggangan akan berubah-ubah. Perubahan suhu ini dapat dikesan dalam masa beberapa minit sahaja; perubahan pada kedudukan cip akan berlaku, dan hasil pengeluaran akan menurun. Kami mencipta filamen pengganti yang mampu mengekalkan profil suhu yang stabil, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Apa yang benar-benar penting ialah kebolehulangan proses tersebut. Filamen tersebut direka untuk digunakan dalam gelombang pendek atau sederhana, agar intensiti cahaya tetap stabil dan suhu di permukaan plat panas dapat dikawal dengan baik. Keseimbangan suhu pada tahap wafer dapat dicapai pada tahap ±0.1°C, kerana pancaran cahaya dapat dikawal dengan baik, dan geometri lapisan kuarsa juga kekal konsisten. Kami memastikan jenis penyambung dan dimensi lapisan kuarsa sama seperti peralatan asal, dan ia berfungsi dengan baik bersama-sama dengan sumber tenaga dan pengawal suhu yang biasa digunakan.
Bahan-bahan yang digunakan dipilih agar menghasilkan gas yang sedikit atau tiada langsung, supaya ia dapat melindungi operasi di bilik bersih kelas 1–100. Dengan cara ini, jumlah zarah di udara tidak akan meningkat.
Alasan mengapa kaedah ini berkesan adalah kerana ketepatan proses pemanggangan bahan photoresist dapat dikekalkan walaupun selepas ribuan kitaran. Ini seterusnya mengurangkan pembaziran bahan dan kos pembaikan. Penggunaan tenaga juga dapat dioptimumkan, dan jangka hayat lampu yang lebih lama bermakna kurang keperluan untuk menukar lampu – sekali gus mengurangkan masa henti yang tidak dijangka. Hasilnya, proses pengeluaran dapat berjalan dengan lancar dan kawalan kedudukan cip dapat dikekalkan secara konsisten.
Beberapa perkara yang perlu diperhatikan semasa pemasangan: orientasi lampu perlu betul, dan tegangan yang digunakan perlu sesuai. Jika lampu tidak disusun dengan betul, ia akan menyebabkan ketidaksamaan suhu. Semak keadaan reflektor dan bersihkan kontak soket sebelum menukar lampu. Jika tegangan yang digunakan tidak sesuai, ia akan mengurangkan jangka hayat lampu dan menyebabkan perubahan suhu. Untuk hasil yang terbaik, pastikan filamen digabungkan dengan kalibrasi rutin sensor suhu.