Berhenti menunggu oven anda berfungsi: Mengapa lampu inframerah jenis UHP berkesan
Selama ini, kita menganggap bahawa untuk memanaskan wafer, kita perlu bergantung pada putaran udara panas. Namun, masalahnya ialah proses ini memerlukan masa yang lama. Kita perlu menunggu sehingga udara menjadi panas, dan kemudian menunggu lagi agar udara tersebut dapat memanaskan wafer. Ini merupakan pembaziran masa yang besar.
Itulah sebabnya kita beralih kepada lampu inframerah jenis Ultra High Purity (UHP). Daripada menggunakan udara sebagai alat pemanas, kita gunakan lampu ini secara langsung.
Ia tentang pemanasan secara langsung.
Bayangkanlah seperti sinar matahari yang menyentuh kulit kita pada hari yang sejuk. Kita tidak perlu menunggu seluruh atmosfera menjadi panas untuk merasai haba tersebut; sinar matahari akan terus menyentuh kulit kita. Sama juga dengan lampu UHP ini. Manakala oven konvensional memerlukan masa beberapa minit untuk mencapai suhu yang diinginkan, lampu UHP pula dapat mencapai tujuan tersebut dalam beberapa saat sahaja. Jika kita ingin memproses lebih banyak wafer, masa yang dihemat ini sangat penting.
Namun, bukan semua lampu boleh digunakan. Dalam dunia ini, “pelepasan gas” merupakan masalah besar. Sebarang kotoran logam kecil pun boleh merosakkan silikon tersebut. Untuk mengelakkan hal ini, kita menggunakan kaca sintetik berkualiti tinggi. Kita juga perlu memastikan filamen lampu berfungsi dengan baik. Jika kuasa lampu tidak sesuai, ia akan menyebabkan titik panas, dan titik panas ini akan merosakkan komponen mesin.
Terdapat keseimbangan yang perlu dipertimbangkan. Memang, kuasa yang lebih tinggi bermaksud pemanasan yang lebih cepat. Namun, jika kita menggunakan kuasa yang berlebihan tanpa pengawalan yang betul, ia akan menyebabkan masalah. Ia boleh merosakkan tiub kaca atau substrat tersebut. Ia merupakan seni mencari keseimbangan antara kelajuan dan tekanan.
Realiti peralihan daripada penggunaan udara panas kepada lampu inframerah.
Jika anda ingin beralih daripada penggunaan udara panas kepada lampu inframerah, ingatlah bahawa ini bukan sesuatu yang mudah. Anda perlu menyesuaikan pengawal PID anda. Oleh kerana lampu inframerah bertindak balas dengan cepat, penyesuaian yang dilakukan perlu dilakukan dengan teliti. Jika tidak, suhu yang diinginkan mungkin tidak dapat dicapai sebelum sistem menyedari bahawa ia sedang memanaskan.
Jangan lupa tentang sistem penyejukan pula. Tidak semua haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut sampai ke wafer. Sebahagiannya akan dipantulkan. Jika sistem penyejukan tidak berfungsi dengan baik, komponen mesin sendiri akan rosak.
Memang memerlukan sedikit usaha untuk menyesuaikannya, tetapi setelah semuanya disusun dengan baik, pengalaman pemprosesan akan jauh lebih baik.