עתידה של טכנולוגיית החימום בשבבים

בקו הייצור, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום יכול לגרום לחוסר בשליטה על הממדים החיוניים של הוופרים, ולכן הוופרים עלולים להיהרס. בתהליכי ליתוגרפיה...